东南大学2022年10至12月政府采购意向-原子层沉积-A033499其他专用仪器仪表-预算金额210.000000万元(人民币)

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东南大学2022年10至12月政府采购意向-原子层沉积-A033499其他专用仪器仪表-预算金额210.000000万元(人民币)

原子层沉积
项目所在采购意向:东南大学2022年10至12月政府采购意向
采购单位:东南大学
采购项目名称:原子层沉积
预算金额:210.*万元(人民币)
采购品目:
A*其他专用仪器仪表
采购需求概况:
购置1台。1.要求反应腔体可以用来沉积8英寸(200毫米)的衬底,兼容8英寸以下的衬底。需要配置 (略) 均须配置独立的质量流量计(MFC)、压强传感器、脉冲阀,液态源与加热源分别配置独立的温度传感器。
预计采购时间:2022-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,东南大学
原子层沉积
项目所在采购意向:东南大学2022年10至12月政府采购意向
采购单位:东南大学
采购项目名称:原子层沉积
预算金额:210.*万元(人民币)
采购品目:
A*其他专用仪器仪表
采购需求概况:
购置1台。1.要求反应腔体可以用来沉积8英寸(200毫米)的衬底,兼容8英寸以下的衬底。需要配置 (略) 均须配置独立的质量流量计(MFC)、压强传感器、脉冲阀,液态源与加热源分别配置独立的温度传感器。
预计采购时间:2022-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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