东南大学2022年10至12月政府采购意向-原子层沉积-A033499其他专用仪器仪表-预算金额210.000000万元(人民币)
东南大学2022年10至12月政府采购意向-原子层沉积-A033499其他专用仪器仪表-预算金额210.000000万元(人民币)
原子层沉积 | |
项目所在采购意向: | 东南大学2022年10至12月政府采购意向 |
采购单位: | 东南大学 |
采购项目名称: | 原子层沉积 |
预算金额: | 210.*万元(人民币) |
采购品目: | A*其他专用仪器仪表 |
采购需求概况: | 购置1台。1.要求反应腔体可以用来沉积8英寸(200毫米)的衬底,兼容8英寸以下的衬底。需要配置 (略) 均须配置独立的质量流量计(MFC)、压强传感器、脉冲阀,液态源与加热源分别配置独立的温度传感器。 |
预计采购时间: | 2022-11 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
原子层沉积 | |
项目所在采购意向: | 东南大学2022年10至12月政府采购意向 |
采购单位: | 东南大学 |
采购项目名称: | 原子层沉积 |
预算金额: | 210.*万元(人民币) |
采购品目: | A*其他专用仪器仪表 |
采购需求概况: | 购置1台。1.要求反应腔体可以用来沉积8英寸(200毫米)的衬底,兼容8英寸以下的衬底。需要配置 (略) 均须配置独立的质量流量计(MFC)、压强传感器、脉冲阀,液态源与加热源分别配置独立的温度传感器。 |
预计采购时间: | 2022-11 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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