A* 电子光学及离子光学仪器

采购聚焦离子束系统1台，具备样品表面形貌的扫描电子显微成像功能和聚焦离子束加工能力，主要用于半导体材料与器件形貌的表征，TEM制样和图形定制。通过高分辨的扫描电子图像，获得包括高度、材料、电学和粗糙度等信息。搭配离子束源加工系统，能够对样品进行图形加工。搭配能谱仪EDS，能够实现扫描图像与元素分析的对应关系。具备液态 Ga 离子源，电子枪类型为肖特基场发射灯丝；配备独立二次电子探测器，配备镜筒内独立二次电子探测器；配备CCD 相机系统；可实现二次电子信号与背散射信号同时成像；拥有至少1支独立的单气体注入系统，全无油真空系统；配备 UPS 电源系统。配置操作系统，至少两台 24” LCD 显示器；带有旋钮控制面板键盘、鼠标, 控制样品台的遥感操作系统。配置能谱仪EDS一套，配置主动式减震台一套，包括用于6英寸及以下尺寸晶圆和不规则小片的托盘和夹具等。质保期：自设备验收之日起至少1年，质保期内提供全免费保修。在质保期满后继续提供技术支持。 交货地点：南京大学仙林校区。售后服务响应要求：供应商必须保证快速的服务响应，得到通知后，应在4小时内提供技术支持。需要上门服务的，应在72小时内赶到现场。 培训要求：设备及其中的重要部件应附带使用手册。设备安装、调试、验收完成后，供应商对采购人的设备管理、维护人员进行免费培训，包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺。

A* 电子光学及离子光学仪器

采购聚焦离子束系统1台，具备样品表面形貌的扫描电子显微成像功能和聚焦离子束加工能力，主要用于半导体材料与器件形貌的表征，TEM制样和图形定制。通过高分辨的扫描电子图像，获得包括高度、材料、电学和粗糙度等信息。搭配离子束源加工系统，能够对样品进行图形加工。搭配能谱仪EDS，能够实现扫描图像与元素分析的对应关系。具备液态 Ga 离子源，电子枪类型为肖特基场发射灯丝；配备独立二次电子探测器，配备镜筒内独立二次电子探测器；配备CCD 相机系统；可实现二次电子信号与背散射信号同时成像；拥有至少1支独立的单气体注入系统，全无油真空系统；配备 UPS 电源系统。配置操作系统，至少两台 24” LCD 显示器；带有旋钮控制面板键盘、鼠标, 控制样品台的遥感操作系统。配置能谱仪EDS一套，配置主动式减震台一套，包括用于6英寸及以下尺寸晶圆和不规则小片的托盘和夹具等。质保期：自设备验收之日起至少1年，质保期内提供全免费保修。在质保期满后继续提供技术支持。 交货地点：南京大学仙林校区。售后服务响应要求：供应商必须保证快速的服务响应，得到通知后，应在4小时内提供技术支持。需要上门服务的，应在72小时内赶到现场。 培训要求：设备及其中的重要部件应附带使用手册。设备安装、调试、验收完成后，供应商对采购人的设备管理、维护人员进行免费培训，包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺。