A* 显微镜

采购高分辨扫描电子显微镜与阴极荧光系统1套，具备样品表面形貌的扫描电子显微成像功能，用于半导体材料与器件形貌的表征。通过高分辨的扫描电子图像，获得包括高度、材料、电学和粗糙度等信息。能够实现二次电子成像；搭配阴极荧光测试系统，能够对样品的发光性能进行分析表征。能够实现扫描图像与阴极荧光光谱的对应。具备低电压配备电子束减速模式，配置样品电流监视器，无油机械泵，磁悬浮涡轮分子泵和离子泵。至少2台24”LCD显示器，计算机系统附带专业Windows 操作系统，预留光电关联接口。配置阴极荧光光谱仪探测器一套配置主动减震台，配置液氮冷冻装置 一套，随设备提供满足设备质保期内正常使用的常用备件与耗材，包括用于6英寸及以下尺寸晶圆和不规则小片的托盘和夹具等。质保期：自设备验收之日起至少1年，质保期内提供全免费保修。交货地点：南京大学仙林校区。供应商必须保证快速的服务响应，得到通知后，应在4小时内提供技术支持。需要上门服务的，应在72小时内赶到现场。设备及其中的重要部件应附带使用手册。设备安装、调试、验收完成后，供应商对采购人的设备管理、维护人员进行免费培训，包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺。

A* 显微镜

采购高分辨扫描电子显微镜与阴极荧光系统1套，具备样品表面形貌的扫描电子显微成像功能，用于半导体材料与器件形貌的表征。通过高分辨的扫描电子图像，获得包括高度、材料、电学和粗糙度等信息。能够实现二次电子成像；搭配阴极荧光测试系统，能够对样品的发光性能进行分析表征。能够实现扫描图像与阴极荧光光谱的对应。具备低电压配备电子束减速模式，配置样品电流监视器，无油机械泵，磁悬浮涡轮分子泵和离子泵。至少2台24”LCD显示器，计算机系统附带专业Windows 操作系统，预留光电关联接口。配置阴极荧光光谱仪探测器一套配置主动减震台，配置液氮冷冻装置 一套，随设备提供满足设备质保期内正常使用的常用备件与耗材，包括用于6英寸及以下尺寸晶圆和不规则小片的托盘和夹具等。质保期：自设备验收之日起至少1年，质保期内提供全免费保修。交货地点：南京大学仙林校区。供应商必须保证快速的服务响应，得到通知后，应在4小时内提供技术支持。需要上门服务的，应在72小时内赶到现场。设备及其中的重要部件应附带使用手册。设备安装、调试、验收完成后，供应商对采购人的设备管理、维护人员进行免费培训，包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺。