电子束蒸发系统项目所在采购意向：东北师范大学2022年11至12月政府采购意向采购单位：东北师范大学采购项目名称：电子束蒸发系统预算金额：150.*万元(人民币)采购品目：
A*采购需求概况 ：
主要功能：电子束蒸发是继电阻加热蒸发后发展起来的一种真空镀膜技术。它的特点是电子束直接加热蒸发物而避免了常规电阻加热蒸发时钨丝加热蒸发物而产生的钠离子对蒸发膜层的污染，并且热能得到充分利用。电子束蒸发系统是对基于热蒸发系统镀膜机的有机补充。可以支撑物理、化学和电子信息学科。对于涉及材料、 (略) 的研究，均可以实现相关工艺的支撑。本单位现有的基于热蒸发镀膜仪器，可以蒸镀的材料十分有限，极大地限制了相关领域的科研方向和深度。 关键参数： 1、腔体极限真空：2×10-7Torr （12小时之内）； 2、蒸发源与样品距离不小于600mm； 3、可以承载Φ100mm基片以及非规则片子和碎片，转速连续可调，同时支架具有升降功能； 4、工艺腔内配备加热单元，温度连续可调，基片最高加热温度不低于250℃； 5、电子枪额定功率不低于10KW； 6、电子束沿X-Y方向扫描可调； 7、电子枪配备水冷坩埚6个，每个容量不小于15cc； 8、坩埚位置可由工艺程序控制实现自动切换； 9、断水、断电、漏电、真空保护，控制主机部分配备UPS进行保护。预计采购时间：2022-12备注：

电子束蒸发系统项目所在采购意向：东北师范大学2022年11至12月政府采购意向采购单位：东北师范大学采购项目名称：电子束蒸发系统预算金额：150.*万元(人民币)采购品目：
A*采购需求概况 ：
主要功能：电子束蒸发是继电阻加热蒸发后发展起来的一种真空镀膜技术。它的特点是电子束直接加热蒸发物而避免了常规电阻加热蒸发时钨丝加热蒸发物而产生的钠离子对蒸发膜层的污染，并且热能得到充分利用。电子束蒸发系统是对基于热蒸发系统镀膜机的有机补充。可以支撑物理、化学和电子信息学科。对于涉及材料、 (略) 的研究，均可以实现相关工艺的支撑。本单位现有的基于热蒸发镀膜仪器，可以蒸镀的材料十分有限，极大地限制了相关领域的科研方向和深度。 关键参数： 1、腔体极限真空：2×10-7Torr （12小时之内）； 2、蒸发源与样品距离不小于600mm； 3、可以承载Φ100mm基片以及非规则片子和碎片，转速连续可调，同时支架具有升降功能； 4、工艺腔内配备加热单元，温度连续可调，基片最高加热温度不低于250℃； 5、电子枪额定功率不低于10KW； 6、电子束沿X-Y方向扫描可调； 7、电子枪配备水冷坩埚6个，每个容量不小于15cc； 8、坩埚位置可由工艺程序控制实现自动切换； 9、断水、断电、漏电、真空保护，控制主机部分配备UPS进行保护。预计采购时间：2022-12备注：