A*工业机器人

该设备用于精密调装和多自由光学读取；技术要求：1、运动轴：X, Y, Z, θX, θY, θZ2、行程：≥±50mm, ≥±50mm, ≥±25mm, ≥±15°, ≥±15°, ≥±30° (X, Y, Z, θX, θY, θZ)3、最小运动步距：≤0.3μm, ≤0.3μm, ≤0.2μm, ≤3μrad, ≤3μrad, ≤5μrad (X, Y, Z, θX, θY, θZ)，需现场验收（说明：最小运动步距是指运动台在每个运动轴中最小一步所能实际走出来的位移，而重复定位精度是指反复走到某一个目标位置时的位置误差，重复精度和最小运动步距是两个概念，两者没有直接的联系。最小运动步距往往仅仅取决于控制器的细分度或者运动轴的传动机构的细分度——如丝杠或减速齿轮的减速比等；重复精度则更和其内部的位置传感器关系密切。）★4、重复定位精度：≤±0.5μm, ≤±0.5μm, ≤±0.2μm, ≤±3μrad, ≤±3μrad, ≤±9μrad (X, Y, Z, θX, θY, θZ)，垂直安装时最大负载≥80kg，适用真空度≤10-4Pa，需现场验收5、空回：≤4μm, ≤4μm, ≤0.5μm, ≤7.5μrad, ≤7.5μrad, ≤60μrad (X, Y, Z, θX, θY, θZ)，需现场验收6、最大直线速度：≥0.15mm/s7、最大角速度：≥1.8mrad/s8、任意方向安装时最大负载：≥40kg9、控制器通讯接口：RS-232，TCP/IP10、控制特性： 32位PID控制11、伺服周期：100μs12、I/O接口：4模拟输入，4数字输入，4数字输出13、最大功耗：200W交付时间要求：2023年12月；交付地点要求：中山大学现场交付；售后服务要求（含培训）：包含运输、安装、调试，提供不少于3个工作日的培训，售后保修2年。

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该设备用于精密调装和多自由光学读取；技术要求：1、运动轴：X, Y, Z, θX, θY, θZ2、行程：≥±50mm, ≥±50mm, ≥±25mm, ≥±15°, ≥±15°, ≥±30° (X, Y, Z, θX, θY, θZ)3、最小运动步距：≤0.3μm, ≤0.3μm, ≤0.2μm, ≤3μrad, ≤3μrad, ≤5μrad (X, Y, Z, θX, θY, θZ)，需现场验收（说明：最小运动步距是指运动台在每个运动轴中最小一步所能实际走出来的位移，而重复定位精度是指反复走到某一个目标位置时的位置误差，重复精度和最小运动步距是两个概念，两者没有直接的联系。最小运动步距往往仅仅取决于控制器的细分度或者运动轴的传动机构的细分度——如丝杠或减速齿轮的减速比等；重复精度则更和其内部的位置传感器关系密切。）★4、重复定位精度：≤±0.5μm, ≤±0.5μm, ≤±0.2μm, ≤±3μrad, ≤±3μrad, ≤±9μrad (X, Y, Z, θX, θY, θZ)，垂直安装时最大负载≥80kg，适用真空度≤10-4Pa，需现场验收5、空回：≤4μm, ≤4μm, ≤0.5μm, ≤7.5μrad, ≤7.5μrad, ≤60μrad (X, Y, Z, θX, θY, θZ)，需现场验收6、最大直线速度：≥0.15mm/s7、最大角速度：≥1.8mrad/s8、任意方向安装时最大负载：≥40kg9、控制器通讯接口：RS-232，TCP/IP10、控制特性： 32位PID控制11、伺服周期：100μs12、I/O接口：4模拟输入，4数字输入，4数字输出13、最大功耗：200W交付时间要求：2023年12月；交付地点要求：中山大学现场交付；售后服务要求（含培训）：包含运输、安装、调试，提供不少于3个工作日的培训，售后保修2年。