感应耦合等离子化学气相沉积系统招标预告
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感应耦合等离子化学气相沉积系统招标预告
感应耦合等离子化学气相沉积系统项目所在采购意向：华中科技大学2022年11至12月政府采购意向采购单位：华中科技大学采购项目名称：感应耦合等离子化学气相沉积系统预算金额：310.*万元(人民币)采购品目：
A*真空应用设备采购需求概况 ：
高质量薄膜，8寸晶片，具有小批量预制和试生产能力。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。预计采购时间：2022-12备注：
感应耦合等离子化学气相沉积系统项目所在采购意向：华中科技大学2022年11至12月政府采购意向采购单位：华中科技大学采购项目名称：感应耦合等离子化学气相沉积系统预算金额：310.*万元(人民币)采购品目：
A*真空应用设备采购需求概况 ：
高质量薄膜，8寸晶片，具有小批量预制和试生产能力。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。预计采购时间：2022-12备注：
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