掩膜对准光刻机招标预告
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掩膜对准光刻机招标预告
掩膜对准光刻机项目所在采购意向：华中科技大学2022年11至12月政府采购意向采购单位：华中科技大学采购项目名称：掩膜对准光刻机预算金额：420.*万元(人民币)采购品目：
A*电子工业专用生产设备采购需求概况 ：
曝光面积：8英寸；分辨率：≤ 0.8 μm；特征尺寸：< 0.5 μm。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。预计采购时间：2022-12备注：
掩膜对准光刻机项目所在采购意向：华中科技大学2022年11至12月政府采购意向采购单位：华中科技大学采购项目名称：掩膜对准光刻机预算金额：420.*万元(人民币)采购品目：
A*电子工业专用生产设备采购需求概况 ：
曝光面积：8英寸；分辨率：≤ 0.8 μm；特征尺寸：< 0.5 μm。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。预计采购时间：2022-12备注：
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