东南大学2022年10至12月政府采购意向-低气压气相沉积系统LPCVD-A033499其他专用仪器仪表-预算金额800.000000万元(人民币)
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东南大学2022年10至12月政府采购意向-低气压气相沉积系统LPCVD-A033499其他专用仪器仪表-预算金额800.000000万元(人民币)
| 低气压气相沉积系统LPCVD | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 低气压气相沉积系统LPCVD |
| 预算金额： | 800.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 购置1套。1.最多容纳的炉管数量: 32.晶圆尺寸: 8 " (200 mm)3.化学计量比氮化硅膜厚均匀性优于3%, 氧化硅膜厚均匀性优于3%，多晶硅膜厚均匀性优于3% |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 低气压气相沉积系统LPCVD | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 低气压气相沉积系统LPCVD |
| 预算金额： | 800.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 购置1套。1.最多容纳的炉管数量: 32.晶圆尺寸: 8 " (200 mm)3.化学计量比氮化硅膜厚均匀性优于3%, 氧化硅膜厚均匀性优于3%，多晶硅膜厚均匀性优于3% |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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