超高真空多功能多腔体电子束蒸镀系统项目所在采购意向：zycgr*年11月政府采购意向采购单位：zycgr*采购项目名称：超高真空多功能多腔体电子束蒸镀系统预算金额：630.*万元(人民币)采购品目：
A*其他专用仪器仪表采购需求概况 ：
加工制备高质量量子芯片，需要专用的高真空镀膜系统，包括预真空进样腔体、超高真空蒸镀腔体、氧化腔体等，基片倾角控制好于0.02度，需具备超高真空环境（蒸发腔真空＜9×10-10mbar）、高质量均匀薄膜、衬底加热、衬底清洗、多腔体间的传动装置等功能。预计采购时间：2022-11备注：

超高真空多功能多腔体电子束蒸镀系统项目所在采购意向：zycgr*年11月政府采购意向采购单位：zycgr*采购项目名称：超高真空多功能多腔体电子束蒸镀系统预算金额：630.*万元(人民币)采购品目：
A*其他专用仪器仪表采购需求概况 ：
加工制备高质量量子芯片，需要专用的高真空镀膜系统，包括预真空进样腔体、超高真空蒸镀腔体、氧化腔体等，基片倾角控制好于0.02度，需具备超高真空环境（蒸发腔真空＜9×10-10mbar）、高质量均匀薄膜、衬底加热、衬底清洗、多腔体间的传动装置等功能。预计采购时间：2022-11备注：