西南大学2022年12月政府意向-高分辨掩膜光刻机招标预告
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西南大学2022年12月政府意向-高分辨掩膜光刻机招标预告
| 高分辨掩膜光刻机采购 | |
| 项目所在采购意向： | 西南大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西南大学 |
| 采购项目名称： | 高分辨掩膜光刻机采购 |
| 预算金额： | 390.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 1、采购名称： 高分辨掩膜光刻机采购 2、采购标的需实现的主要功能或者目标：需要配备高分辨掩膜光刻机，建成类脑芯片核心制备工艺。 3、采购数量：1台/套； 4、采购标的需满足的质量、安全等： 4.1采购配置： 4.1.1 高分辨掩膜光刻机1台（含高曝光系统、正面显微镜对准系统、背面显微镜对准系统、计算机控制系统等）； 4.1.2配套基片夹具以及掩膜版夹具（含：碎片及2寸，4寸，和6寸基片夹具、6寸开孔（可放置7寸版）的掩膜版夹具一个，配置3陶瓷小球隔离接近式找平，陶瓷小球直径2毫米，精度±1μm，配合6寸基片夹具使用可实现非接触式找平。）； 4.1.3附件及零配件。包括紫外光强计及365nm/405nm双波段光强探头、光刻机专用吸片真空泵。 4.2、需满足的技术指标 4.2.1.曝光系统：光强可调范围宽，从20%~100%可调，分辨率优于0.8μm， 4.2.2.对准模式：系统具备光刻对准标记自动识别与自动记录功能，设定程序后，对准系统自动寻找光刻对准标记并自动完成全部对准动作，全过程无需人工干预； 4.2.3.正面对准：显微镜分离距离调节范围：32-220mm（5倍标准物镜）； |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | 8-220mm(11.25物镜)，支持第一版光刻平边对准，对准精度±50μm, ±0.1deg。（11.25X物镜的功能） 4.2.4.背面对准：显微镜倍率81X ～ 648X，屏幕分辨率1.1μm/像素 4.2.5.计算机控制系统：具有图像采集及图像存储功能，用于光刻的正面及背面图形的精确对准； 4.2.6.对准台：对准台具体全自动非接触式芯片厚度补偿系统，可全自动完成芯片厚度补偿，侧向锁定方式，找平时3小球隔离掩膜板与基片，减少掩膜板沾污，且整个过程中芯片无需接触掩膜版，非接触间隙：2000±1μm；XY方向机械调节分辨率：不低于0.02μm，角度调节分辨率：不低于0.0001deg 。 5、服务：供应商应提供到场安装并进行相关人员培训服务。 6、时限：供货时间：合同签订12个月内完成安装并验收完毕。货物到达现场后，供应商应在使用单位人员在场情况下当面开箱，共同清点、检查外观，作出开箱记录，双方签字确认。供应商应保证货物到达采购人所在地完好无损，如有缺漏、损坏，由供应商负责调换、补齐或赔偿。 7、其他：技术交流联系人 ：姓名及联系方式 ：罗丽，* |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高分辨掩膜光刻机采购 | |
| 项目所在采购意向： | 西南大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西南大学 |
| 采购项目名称： | 高分辨掩膜光刻机采购 |
| 预算金额： | 390.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 1、采购名称： 高分辨掩膜光刻机采购 2、采购标的需实现的主要功能或者目标：需要配备高分辨掩膜光刻机，建成类脑芯片核心制备工艺。 3、采购数量：1台/套； 4、采购标的需满足的质量、安全等： 4.1采购配置： 4.1.1 高分辨掩膜光刻机1台（含高曝光系统、正面显微镜对准系统、背面显微镜对准系统、计算机控制系统等）； 4.1.2配套基片夹具以及掩膜版夹具（含：碎片及2寸，4寸，和6寸基片夹具、6寸开孔（可放置7寸版）的掩膜版夹具一个，配置3陶瓷小球隔离接近式找平，陶瓷小球直径2毫米，精度±1μm，配合6寸基片夹具使用可实现非接触式找平。）； 4.1.3附件及零配件。包括紫外光强计及365nm/405nm双波段光强探头、光刻机专用吸片真空泵。 4.2、需满足的技术指标 4.2.1.曝光系统：光强可调范围宽，从20%~100%可调，分辨率优于0.8μm， 4.2.2.对准模式：系统具备光刻对准标记自动识别与自动记录功能，设定程序后，对准系统自动寻找光刻对准标记并自动完成全部对准动作，全过程无需人工干预； 4.2.3.正面对准：显微镜分离距离调节范围：32-220mm（5倍标准物镜）； |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | 8-220mm(11.25物镜)，支持第一版光刻平边对准，对准精度±50μm, ±0.1deg。（11.25X物镜的功能） 4.2.4.背面对准：显微镜倍率81X ～ 648X，屏幕分辨率1.1μm/像素 4.2.5.计算机控制系统：具有图像采集及图像存储功能，用于光刻的正面及背面图形的精确对准； 4.2.6.对准台：对准台具体全自动非接触式芯片厚度补偿系统，可全自动完成芯片厚度补偿，侧向锁定方式，找平时3小球隔离掩膜板与基片，减少掩膜板沾污，且整个过程中芯片无需接触掩膜版，非接触间隙：2000±1μm；XY方向机械调节分辨率：不低于0.02μm，角度调节分辨率：不低于0.0001deg 。 5、服务：供应商应提供到场安装并进行相关人员培训服务。 6、时限：供货时间：合同签订12个月内完成安装并验收完毕。货物到达现场后，供应商应在使用单位人员在场情况下当面开箱，共同清点、检查外观，作出开箱记录，双方签字确认。供应商应保证货物到达采购人所在地完好无损，如有缺漏、损坏，由供应商负责调换、补齐或赔偿。 7、其他：技术交流联系人 ：姓名及联系方式 ：罗丽，* |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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