微流控平台平台科研设备平台一批招标预告
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微流控平台平台科研设备平台一批招标预告
| 微流控平台平台科研设备平台一批采购 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 微流控平台平台科研设备平台一批采购 |
| 预算金额： | 5862.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 微流控平台建设需采购一批基础科研设备，包括诱导刻蚀激光曝光机（LIDE）1台，玻璃石英深刻蚀机(NLD)1台，反应离子深硅刻蚀机（DIRE）1台，晶圆键合机1台，接触式曝光机1台，三维流场测量系统1套，磁控溅射1台，离子增强化学气相沉积1台，激光直写曝光机1台，电感耦合反应离子刻蚀机（ICP）1台，反应离子刻蚀机（RIE）1台，真空蒸镀机（E-Beam Evaporation）1台，圆片机械切割机（Dicing Saw）1台，离子束刻蚀机（IBE）1台，激光划片(Laser Dicing)1台，3D打印机1台，3D形貌仪1台，扫描电子显微镜（SEM）1台，低压化学气相沉积(LPCVD)1台，X-射线检测1台，纳米热压印机1台，减薄机1台，椭偏仪1台，恒压泵1套，国产电感耦合反应离子刻蚀机（ICP）1台，高分辨显微镜4台，手动探针台 1台，聚二*基硅氧烷（PDMS）芯片制造平台1套，派瑞林沉积（Parylene）1台，点胶机 1台，四探针方阻仪1台，注射泵1套，国产接触式曝光机1台，胶键合机1台，喷胶机1台，应力测试仪1台，制样设备1套，氧等离子去胶机3台，台阶仪2台。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
| 微流控平台平台科研设备平台一批采购 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 微流控平台平台科研设备平台一批采购 |
| 预算金额： | 5862.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 微流控平台建设需采购一批基础科研设备，包括诱导刻蚀激光曝光机（LIDE）1台，玻璃石英深刻蚀机(NLD)1台，反应离子深硅刻蚀机（DIRE）1台，晶圆键合机1台，接触式曝光机1台，三维流场测量系统1套，磁控溅射1台，离子增强化学气相沉积1台，激光直写曝光机1台，电感耦合反应离子刻蚀机（ICP）1台，反应离子刻蚀机（RIE）1台，真空蒸镀机（E-Beam Evaporation）1台，圆片机械切割机（Dicing Saw）1台，离子束刻蚀机（IBE）1台，激光划片(Laser Dicing)1台，3D打印机1台，3D形貌仪1台，扫描电子显微镜（SEM）1台，低压化学气相沉积(LPCVD)1台，X-射线检测1台，纳米热压印机1台，减薄机1台，椭偏仪1台，恒压泵1套，国产电感耦合反应离子刻蚀机（ICP）1台，高分辨显微镜4台，手动探针台 1台，聚二*基硅氧烷（PDMS）芯片制造平台1套，派瑞林沉积（Parylene）1台，点胶机 1台，四探针方阻仪1台，注射泵1套，国产接触式曝光机1台，胶键合机1台，喷胶机1台，应力测试仪1台，制样设备1套，氧等离子去胶机3台，台阶仪2台。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
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