浙江大学2022年11月政府采购意向-高功率极紫外光源-A02100309激光仪器-预算金额750.000000万元(人民币)
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浙江大学2022年11月政府采购意向-高功率极紫外光源-A02100309激光仪器-预算金额750.000000万元(人民币)
| 高功率极紫外光源 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 高功率极紫外光源 |
| 预算金额： | 750.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*激光仪器 |
| 采购需求概况： | 1.名称：美国Energetiq EQ-10R-HP 2.主要功能：用于短波光刻与成像研究，特别是极紫外波段（13.5nm）的高分辨率光刻与成像技术研究。3.数量：一台。4.参数：输出功率:20W(13.5nm±1% 带宽)； 亮度:8W/mm2.sr； 脉冲频率:2.5kHz，1.5J/pulse；脉冲宽度~20ns；灯芯:氙灯； 远程控制:提供通信协议。RS485或TCP/IP；等离子体大小稳定性：<4微米；空间位置稳定性：<6微米；外触发:提供外触发接口；耗材寿命:每周1次，每周7天24小时操作。5.服务：质保一年，在保修期内，Energetiq随时提供操作及使用上的技术支持，质保期内，产品出现质保范围内的故障后，指定远程在线指导或7个工作日内到达现场解决(技术支持、维修换货服务); 质保期后的产品故障，Energetiq在10个工作日内远程在线指导或到达现场解决。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高功率极紫外光源 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 高功率极紫外光源 |
| 预算金额： | 750.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*激光仪器 |
| 采购需求概况： | 1.名称：美国Energetiq EQ-10R-HP 2.主要功能：用于短波光刻与成像研究，特别是极紫外波段（13.5nm）的高分辨率光刻与成像技术研究。3.数量：一台。4.参数：输出功率:20W(13.5nm±1% 带宽)； 亮度:8W/mm2.sr； 脉冲频率:2.5kHz，1.5J/pulse；脉冲宽度~20ns；灯芯:氙灯； 远程控制:提供通信协议。RS485或TCP/IP；等离子体大小稳定性：<4微米；空间位置稳定性：<6微米；外触发:提供外触发接口；耗材寿命:每周1次，每周7天24小时操作。5.服务：质保一年，在保修期内，Energetiq随时提供操作及使用上的技术支持，质保期内，产品出现质保范围内的故障后，指定远程在线指导或7个工作日内到达现场解决(技术支持、维修换货服务); 质保期后的产品故障，Energetiq在10个工作日内远程在线指导或到达现场解决。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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