厦门大学2022年12月政府采购意向-高精度电子束蒸发镀膜设备-A02052402真空应用设备-预算金额250.000000万元(人民币)
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厦门大学2022年12月政府采购意向-高精度电子束蒸发镀膜设备-A02052402真空应用设备-预算金额250.000000万元(人民币)
| 高精度电子束蒸发镀膜设备 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门大学 |
| 采购项目名称： | 高精度电子束蒸发镀膜设备 |
| 预算金额： | 250.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 高精度电子束蒸发镀膜设备，数量：1套。该设备主要用于金属和电介质等材料的薄膜制备和微纳米结构成型。技术要求：本底极限真空度：优于5E-8 Torr；真空系统：1500l/s抽速冷泵；带Load Lock自动传样系统；最大兼容样品尺寸：6英寸；蒸发源数量：6x20cc；电子枪功率：5kW；膜厚控制：晶振；薄膜均匀性：±3%。具体要求详见采购文件。（包括供货，安装，调试，验收合格所需时间）。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高精度电子束蒸发镀膜设备 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门大学 |
| 采购项目名称： | 高精度电子束蒸发镀膜设备 |
| 预算金额： | 250.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 高精度电子束蒸发镀膜设备，数量：1套。该设备主要用于金属和电介质等材料的薄膜制备和微纳米结构成型。技术要求：本底极限真空度：优于5E-8 Torr；真空系统：1500l/s抽速冷泵；带Load Lock自动传样系统；最大兼容样品尺寸：6英寸；蒸发源数量：6x20cc；电子枪功率：5kW；膜厚控制：晶振；薄膜均匀性：±3%。具体要求详见采购文件。（包括供货，安装，调试，验收合格所需时间）。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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