天津大学2022年11至3月政府采购意向-双光子灰度对准光刻机-A032103电子工业专用生产设备-预算金额690.000000万元(人民币)
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天津大学2022年11至3月政府采购意向-双光子灰度对准光刻机-A032103电子工业专用生产设备-预算金额690.000000万元(人民币)
| 双光子灰度对准光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 天津大学2022年11至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 天津大学 |
| 采购项目名称： | 双光子灰度对准光刻机 |
| 预算金额： | 690.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 实现高精度的三维结构加工，可适用于加工各种三维人工微纳米结构，二维横向线宽可达200纳米以下，二维横向分辨率可达500纳米以下，三维纵向分辨率可达1000纳米以下。可广泛用于光微流体、声微流体、电化学传感、超声微器件、柔性传感器、微纳光学器件、细胞支架、微纳机器人、微透镜阵列以及光电封装器件的加工和制备。主要技术参数：最佳细节尺度：100nm；可加工最佳形状精度：200nm（适用于xyz三个方向）等；共聚焦对准模组：可自动对准芯片表面或侧面的三维位置，完成对准加工；光纤对准模组：可自动对准纤芯所在位置，在光纤端面完成对准加工。光斑可调：4096阶；光斑体素调节频率：1MHz。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 双光子灰度对准光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 天津大学2022年11至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 天津大学 |
| 采购项目名称： | 双光子灰度对准光刻机 |
| 预算金额： | 690.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 实现高精度的三维结构加工，可适用于加工各种三维人工微纳米结构，二维横向线宽可达200纳米以下，二维横向分辨率可达500纳米以下，三维纵向分辨率可达1000纳米以下。可广泛用于光微流体、声微流体、电化学传感、超声微器件、柔性传感器、微纳光学器件、细胞支架、微纳机器人、微透镜阵列以及光电封装器件的加工和制备。主要技术参数：最佳细节尺度：100nm；可加工最佳形状精度：200nm（适用于xyz三个方向）等；共聚焦对准模组：可自动对准芯片表面或侧面的三维位置，完成对准加工；光纤对准模组：可自动对准纤芯所在位置，在光纤端面完成对准加工。光斑可调：4096阶；光斑体素调节频率：1MHz。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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