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采购名称：激光分子束外延薄膜沉积仪；用于半导体薄膜、超晶格、超导、生物涂层等功能薄膜的制备，合成纳米管、纳米粉末以及量子点；采购数量：1套；该设备的本底真空度高于7.5*10-9Torr；自动控制转动或摆动6个1英寸靶盘；在含氧气氛下可辐射加热样品至850摄氏度的旋转伸缩或摆动样品台，可夹持样品最大尺寸直径2英寸，也可夹持更小尺寸样品；COMPEx201准分子激光器，带有全套完整软件包的30KeV高压RHEED，三路独 (略) ；主腔室还可兼容小角度X-射线光谱仪，连续成分组成拓展；激光能够在靶面进行扫描（不改变激光光斑的大小），在靶材上保持固定的光通量（J/cm2）；能为长时间的操作提 (略) 的附件；具有用于离子辅助脉冲激光沉积的直流离子源（最大粒子束能量1000eV，工作压力0.1-0.5 mTorr，工作介质氩气）。具有能实现PLD与实验室已有AJA磁控溅射设备的样品共享腔室，且不影响两台设备的单独使用。沉积薄膜在2英寸范围内高度均匀。

王老师：*

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采购名称：激光分子束外延薄膜沉积仪；用于半导体薄膜、超晶格、超导、生物涂层等功能薄膜的制备，合成纳米管、纳米粉末以及量子点；采购数量：1套；该设备的本底真空度高于7.5*10-9Torr；自动控制转动或摆动6个1英寸靶盘；在含氧气氛下可辐射加热样品至850摄氏度的旋转伸缩或摆动样品台，可夹持样品最大尺寸直径2英寸，也可夹持更小尺寸样品；COMPEx201准分子激光器，带有全套完整软件包的30KeV高压RHEED，三路独 (略) ；主腔室还可兼容小角度X-射线光谱仪，连续成分组成拓展；激光能够在靶面进行扫描（不改变激光光斑的大小），在靶材上保持固定的光通量（J/cm2）；能为长时间的操作提 (略) 的附件；具有用于离子辅助脉冲激光沉积的直流离子源（最大粒子束能量1000eV，工作压力0.1-0.5 mTorr，工作介质氩气）。具有能实现PLD与实验室已有AJA磁控溅射设备的样品共享腔室，且不影响两台设备的单独使用。沉积薄膜在2英寸范围内高度均匀。

王老师：*