浙江大学2022年12月政府采购意向-等离子体增强化学气相沉积系统-A02052402真空应用设备-预算金额300.000000万元(人民币)
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浙江大学2022年12月政府采购意向-等离子体增强化学气相沉积系统-A02052402真空应用设备-预算金额300.000000万元(人民币)
| 等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 300.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购一台等离子体增强气相化学沉积系统，主要用于氮化硅、氧化硅及非晶硅等薄膜的材料生长，具有基础工艺温度低、沉积速率快、沉积的薄膜电绝缘性好以及沉积的薄膜应力小不易龟裂等诸多优点。在技术性能上达到：1）配置5%SiH4/95%N2，N2O，NH3，N2，CF4， (略) 工艺气体；2）1KW的13.56MHz射频电源；反应压力从500mTorr～3Torr可控；3）热台衬底加热温度从100度到350度可调；4）在8英寸（200mm直径) 衬底内，沉积氮化硅和氧化硅薄膜片内均匀性<3%, 每次沉积之间的均匀性<3%；薄膜633nm折射率从1.465~3.00可调，薄膜应力从压应力到张应力可调。货期请尽量控制在3-6个月以内。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 300.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购一台等离子体增强气相化学沉积系统，主要用于氮化硅、氧化硅及非晶硅等薄膜的材料生长，具有基础工艺温度低、沉积速率快、沉积的薄膜电绝缘性好以及沉积的薄膜应力小不易龟裂等诸多优点。在技术性能上达到：1）配置5%SiH4/95%N2，N2O，NH3，N2，CF4， (略) 工艺气体；2）1KW的13.56MHz射频电源；反应压力从500mTorr～3Torr可控；3）热台衬底加热温度从100度到350度可调；4）在8英寸（200mm直径) 衬底内，沉积氮化硅和氧化硅薄膜片内均匀性<3%, 每次沉积之间的均匀性<3%；薄膜633nm折射率从1.465~3.00可调，薄膜应力从压应力到张应力可调。货期请尽量控制在3-6个月以内。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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