-TX-等离子增强原子层沉积招标预告

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-TX-等离子增强原子层沉积招标预告


TX-等离子增强原子层沉积
项目所在采购意向:华中科技大学2022年11至12月政府采购意向
采购单位:华中科技大学
采购项目名称:TX-等离子增强原子层沉积
预算金额:400.*万元(人民币)
采购品目:
A*真空应用设备
采购需求概况 :
1、等离子增强原子层沉积支持包括金属与半导体的多材料体系,例如氧化铝、氧化铪、氧化锌、氧化锡等沉积; 2、反应温度最高500℃,控制精度±1℃; 3、可支持 (略) 。包含自动loader。 4、6路及以上液态前驱体源系统;
预计采购时间:2022-12
备注:


TX-等离子增强原子层沉积
项目所在采购意向:华中科技大学2022年11至12月政府采购意向
采购单位:华中科技大学
采购项目名称:TX-等离子增强原子层沉积
预算金额:400.*万元(人民币)
采购品目:
A*真空应用设备
采购需求概况 :
1、等离子增强原子层沉积支持包括金属与半导体的多材料体系,例如氧化铝、氧化铪、氧化锌、氧化锡等沉积; 2、反应温度最高500℃,控制精度±1℃; 3、可支持 (略) 。包含自动loader。 4、6路及以上液态前驱体源系统;
预计采购时间:2022-12
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