-TX-等离子增强原子层沉积招标预告
-TX-等离子增强原子层沉积招标预告
TX-等离子增强原子层沉积 | |
项目所在采购意向: | 华中科技大学2022年11至12月政府采购意向 |
采购单位: | 华中科技大学 |
采购项目名称: | TX-等离子增强原子层沉积 |
预算金额: | 400.*万元(人民币) |
采购品目: | A*真空应用设备 |
采购需求概况 : | 1、等离子增强原子层沉积支持包括金属与半导体的多材料体系,例如氧化铝、氧化铪、氧化锌、氧化锡等沉积; 2、反应温度最高500℃,控制精度±1℃; 3、可支持 (略) 。包含自动loader。 4、6路及以上液态前驱体源系统; |
预计采购时间: | 2022-12 |
备注: |
TX-等离子增强原子层沉积 | |
项目所在采购意向: | 华中科技大学2022年11至12月政府采购意向 |
采购单位: | 华中科技大学 |
采购项目名称: | TX-等离子增强原子层沉积 |
预算金额: | 400.*万元(人民币) |
采购品目: | A*真空应用设备 |
采购需求概况 : | 1、等离子增强原子层沉积支持包括金属与半导体的多材料体系,例如氧化铝、氧化铪、氧化锌、氧化锡等沉积; 2、反应温度最高500℃,控制精度±1℃; 3、可支持 (略) 。包含自动loader。 4、6路及以上液态前驱体源系统; |
预计采购时间: | 2022-12 |
备注: |
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