TX-研磨抛光机招标预告
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TX-研磨抛光机招标预告
| TX-研磨抛光机 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | TX-研磨抛光机 |
| 预算金额： | 100.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电工电子专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购研磨抛光机，数量1台。用于晶圆厚度控制及表面粗糙度改善。 主要技术指标： （1）样品加工能力：4-8英寸；（2）样品加工精度：抛光后片内均匀性（NU）≤5%；（3）去除速率不低于2500A/min；（4）不高于100nm;（5）研磨后片面零缺陷 |
| 预计采购时间： | 2022-1 |
| TX-研磨抛光机 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | TX-研磨抛光机 |
| 预算金额： | 100.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电工电子专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购研磨抛光机，数量1台。用于晶圆厚度控制及表面粗糙度改善。 主要技术指标： （1）样品加工能力：4-8英寸；（2）样品加工精度：抛光后片内均匀性（NU）≤5%；（3）去除速率不低于2500A/min；（4）不高于100nm;（5）研磨后片面零缺陷 |
| 预计采购时间： | 2022-1 |
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