TX-双腔超高真空溅射仪招标预告
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TX-双腔超高真空溅射仪招标预告
| TX-双腔超高真空溅射仪 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | TX-双腔超高真空溅射仪 |
| 预算金额： | 600.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 用于制备均匀性好、致密性高的半导体材料薄膜、金属薄膜、超薄磁性薄膜、磁性材料异质结、氧化物及其他材料的多功能薄膜，为材料的微观电磁特性、薄膜多层膜与磁电子学、新型功能材料及应用及其他材料科学研究工作，包括金属、铁氧体及其复合单层和多层薄膜等新型磁性材料的制备、微结构及性能的研究，薄膜和多层膜的磁化强度动力学过程和输运性质的研究，磁性复合材料、太阳能电池材料、纳米陶瓷、纳米能源技术、功能纳米器件等方面的研究和应用开发 基本需求： 主机反应腔室、真空室、样品台、多靶枪、气路系统、电源、传片系统等，衬底尺寸：最大4英寸，向下兼容；真空度高于10^-10Torr；室温至800℃；自动进样室。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
| TX-双腔超高真空溅射仪 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | TX-双腔超高真空溅射仪 |
| 预算金额： | 600.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 用于制备均匀性好、致密性高的半导体材料薄膜、金属薄膜、超薄磁性薄膜、磁性材料异质结、氧化物及其他材料的多功能薄膜，为材料的微观电磁特性、薄膜多层膜与磁电子学、新型功能材料及应用及其他材料科学研究工作，包括金属、铁氧体及其复合单层和多层薄膜等新型磁性材料的制备、微结构及性能的研究，薄膜和多层膜的磁化强度动力学过程和输运性质的研究，磁性复合材料、太阳能电池材料、纳米陶瓷、纳米能源技术、功能纳米器件等方面的研究和应用开发 基本需求： 主机反应腔室、真空室、样品台、多靶枪、气路系统、电源、传片系统等，衬底尺寸：最大4英寸，向下兼容；真空度高于10^-10Torr；室温至800℃；自动进样室。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
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