无锡光子芯片联合研究中心2022年11月至12月政府采购意向

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无锡光子芯片联合研究中心2022年11月至12月政府采购意向

? ? ? 为便于供应商及时了解政府采购信息,根据江苏省财政厅《关于做好政府采购意向公开工作的通知》、 (略) 财政局《关于开展政府采购意向公开试点工作的通知》等有关规定,现将单位XX年度(第 ? 批)政府采购意向公告如下: ? ?


序号采购项目名称采购需求概况预算金额(万元)预计采购时间(填写到月)是否专门面向中小企业采购是否采购节能产品、环境标志产品备注
1电子束曝光系统(EBL)1套,用于光子芯片图形显影2500.002022年12月
2场发射扫描电子显微镜1套,用于光子芯片测试550.002022年12月
3PECVD(薄膜沉积系统)1套,用于光子芯片制备1400.002022年12月
4匀胶机2套,用于光子芯片制备70.002022年12月
5膜厚仪1套,用于光子芯片测试230.002022年12月
6桌式显影设备1套,用于光子芯片制备100.002022年12月
7尾气处理设备2套,用于工艺废气处理100.002022年12月
8激光切割1套,用于光子芯片制备400.002022年12月
9深硅刻蚀1套,用于光子芯片制备1500.002022年12月


? ? ?本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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? ? ? 为便于供应商及时了解政府采购信息,根据江苏省财政厅《关于做好政府采购意向公开工作的通知》、 (略) 财政局《关于开展政府采购意向公开试点工作的通知》等有关规定,现将单位XX年度(第 ? 批)政府采购意向公告如下: ? ?


序号采购项目名称采购需求概况预算金额(万元)预计采购时间(填写到月)是否专门面向中小企业采购是否采购节能产品、环境标志产品备注
1电子束曝光系统(EBL)1套,用于光子芯片图形显影2500.002022年12月
2场发射扫描电子显微镜1套,用于光子芯片测试550.002022年12月
3PECVD(薄膜沉积系统)1套,用于光子芯片制备1400.002022年12月
4匀胶机2套,用于光子芯片制备70.002022年12月
5膜厚仪1套,用于光子芯片测试230.002022年12月
6桌式显影设备1套,用于光子芯片制备100.002022年12月
7尾气处理设备2套,用于工艺废气处理100.002022年12月
8激光切割1套,用于光子芯片制备400.002022年12月
9深硅刻蚀1套,用于光子芯片制备1500.002022年12月


? ? ?本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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