超净空气系统处理装置招标预告
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超净空气系统处理装置招标预告
| 超净空气系统处理装置 | |
| 项目所在采购意向： | 电子科技大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 超净空气系统处理装置 |
| 预算金额： | 388.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 超净空气系统处理装置用于半导体工艺线大面积空气超净处理，热湿处理、气流控制及精密仪器的冷却处理。要求：1）一级加热段：进风Tdb=0℃，出风Tdb=28℃；2）一级表冷段：进风参数Tdb=38.1℃，Twb=30.5℃，出风参数Tdb=17℃，Twb=16.5℃；3）温水淋水室：加湿量100kg/h，进风参数d=2.7g/（kg.干空气），出风参数d=8.3g/（kg.干空气）；4）中效F7大气尘计数效率：≥80%（≥1μm）；5）二级表冷段：进风参数Tdb=17.0℃，Twb=16.5℃，出风参数Tdb=10.0，Twb=9.6℃；6）直连变频离心风机：*m3/h，机组出口余压：700Pa；7）二级加热段：进风Tdb=10℃，出风Tdb=25℃；8）高效过滤器：H13DOP效率≥99.97%(≥0.3μm），新风段、出风段配电动密闭阀；9）处理风量：≥*m3/h；10）初效G4大气尘计数效率：≥80%（≥5μm）；11）相关附件：带照明灯、压差计，配置热湿处理及超净系统末端装置，提供配套的冷热源装置， (略) 、配件及绝热，系统设备需有智能控制装置。该装置与超净特气输运与处理系统、超净纯水工艺系统装置一起进行安装调试与协同工作，为光电芯片微纳加工、半导体工艺、微纳器件等研究提供动力保障环境。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 超净空气系统处理装置 | |
| 项目所在采购意向： | 电子科技大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 超净空气系统处理装置 |
| 预算金额： | 388.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 超净空气系统处理装置用于半导体工艺线大面积空气超净处理，热湿处理、气流控制及精密仪器的冷却处理。要求：1）一级加热段：进风Tdb=0℃，出风Tdb=28℃；2）一级表冷段：进风参数Tdb=38.1℃，Twb=30.5℃，出风参数Tdb=17℃，Twb=16.5℃；3）温水淋水室：加湿量100kg/h，进风参数d=2.7g/（kg.干空气），出风参数d=8.3g/（kg.干空气）；4）中效F7大气尘计数效率：≥80%（≥1μm）；5）二级表冷段：进风参数Tdb=17.0℃，Twb=16.5℃，出风参数Tdb=10.0，Twb=9.6℃；6）直连变频离心风机：*m3/h，机组出口余压：700Pa；7）二级加热段：进风Tdb=10℃，出风Tdb=25℃；8）高效过滤器：H13DOP效率≥99.97%(≥0.3μm），新风段、出风段配电动密闭阀；9）处理风量：≥*m3/h；10）初效G4大气尘计数效率：≥80%（≥5μm）；11）相关附件：带照明灯、压差计，配置热湿处理及超净系统末端装置，提供配套的冷热源装置， (略) 、配件及绝热，系统设备需有智能控制装置。该装置与超净特气输运与处理系统、超净纯水工艺系统装置一起进行安装调试与协同工作，为光电芯片微纳加工、半导体工艺、微纳器件等研究提供动力保障环境。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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