东北大学2022年12月政府意向-面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计与制造全流程技术平台--拉曼光谱仪、金属有机化学气相沉积(MOCVD)-A033412教学专用仪器招标预告
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东北大学2022年12月政府意向-面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计与制造全流程技术平台--拉曼光谱仪、金属有机化学气相沉积(MOCVD)-A033412教学专用仪器招标预告
| 面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计 (略) --拉曼光谱仪、金属有机化学气相沉积(MOCVD) | |
| 项目所在采购意向： | 东北大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东北大学 |
| 采购项目名称： | 面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计 (略) --拉曼光谱仪、金属有机化学气相沉积(MOCVD) |
| 预算金额： | 1436.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*教学专用仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1.光谱分辨率1.4cm-1；2. 光谱覆盖范围：50cm-1-4000cm-1；3. 焦长：225cm；4. 空间分辨率低至1μm；5. 最低波数：＜50cm-1。具体以采购文件为准。可用来生长GaN, AlN, AlGaN 等 ；生长GaN：生长速率:≥2μm/h；晶圆内的厚度均匀性：σ≤2%；晶圆到晶圆的厚度均匀性：σ≤2%；@RT背景掺杂水平：≤1×1017cm-3； @RT流动性（硅掺杂n<1017cm-3）：≥350cm2/Vs；XRD FWHM 002/102：250/400Arcsec；生长ALN（3μm厚）： 20*20um 区域的 RMS 表面粗糙度：≤4nm 生长速率:≥3μm/h；晶圆内的厚度均匀性：σ≤2% 晶圆到晶圆的厚度均匀性：σ≤2% XRD FWHM 002/102：250/400Arcsec。具体以采购文件为准。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | 张 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计 (略) --拉曼光谱仪、金属有机化学气相沉积(MOCVD) | |
| 项目所在采购意向： | 东北大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东北大学 |
| 采购项目名称： | 面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计 (略) --拉曼光谱仪、金属有机化学气相沉积(MOCVD) |
| 预算金额： | 1436.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*教学专用仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1.光谱分辨率1.4cm-1；2. 光谱覆盖范围：50cm-1-4000cm-1；3. 焦长：225cm；4. 空间分辨率低至1μm；5. 最低波数：＜50cm-1。具体以采购文件为准。可用来生长GaN, AlN, AlGaN 等 ；生长GaN：生长速率:≥2μm/h；晶圆内的厚度均匀性：σ≤2%；晶圆到晶圆的厚度均匀性：σ≤2%；@RT背景掺杂水平：≤1×1017cm-3； @RT流动性（硅掺杂n<1017cm-3）：≥350cm2/Vs；XRD FWHM 002/102：250/400Arcsec；生长ALN（3μm厚）： 20*20um 区域的 RMS 表面粗糙度：≤4nm 生长速率:≥3μm/h；晶圆内的厚度均匀性：σ≤2% 晶圆到晶圆的厚度均匀性：σ≤2% XRD FWHM 002/102：250/400Arcsec。具体以采购文件为准。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | 张 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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