大连理工大学2022年11月政府采购意向-微波等离子体化学气相沉积系统-A02052402真空应用设备-预算金额400.000000万元(人民币)
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大连理工大学2022年11月政府采购意向-微波等离子体化学气相沉积系统-A02052402真空应用设备-预算金额400.000000万元(人民币)
| 微波等离子体化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 微波等离子体化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 400.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 微波等离子体化学气相沉积系统，1台。设备主要参数：1、反应室气体 H2、CH4、O2/N2或依客户需求定制；2、反应室腔体抽气底压 ≤100pa（1mbar）；3、反应室真空漏气率 ≤5.0×10-9 Pa·m3/s；4、反应室腔体压力范围 4.0×103Pa～1.0×105Pa；5、反应室控压精度 ≤ ±1%；6、气路输运系统气密性 气路管道漏气率≤5.0×10-9 Pa·m3/s；7、加热系统温控范围 ≤1400℃；8、加热系统温度精度反应室压力在工艺范围内，温度控制精度应≤±0.5℃;9、等离子体发等离子体发射频率的稳定度优于0.*；10、工艺腔兼容2英寸、4英寸、6英寸样品制备。碳源和金刚石膜中氮杂质的含量均应低于0.1ppm。能够稳定持续提供升级服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 微波等离子体化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 微波等离子体化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 400.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 微波等离子体化学气相沉积系统，1台。设备主要参数：1、反应室气体 H2、CH4、O2/N2或依客户需求定制；2、反应室腔体抽气底压 ≤100pa（1mbar）；3、反应室真空漏气率 ≤5.0×10-9 Pa·m3/s；4、反应室腔体压力范围 4.0×103Pa～1.0×105Pa；5、反应室控压精度 ≤ ±1%；6、气路输运系统气密性 气路管道漏气率≤5.0×10-9 Pa·m3/s；7、加热系统温控范围 ≤1400℃；8、加热系统温度精度反应室压力在工艺范围内，温度控制精度应≤±0.5℃;9、等离子体发等离子体发射频率的稳定度优于0.*；10、工艺腔兼容2英寸、4英寸、6英寸样品制备。碳源和金刚石膜中氮杂质的含量均应低于0.1ppm。能够稳定持续提供升级服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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