山东大学2022年12月政府采购意向-等离子体增强原子层沉积设备-A033499其他专用仪器仪表-预算金额650.000000万元(人民币)
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山东大学2022年12月政府采购意向-等离子体增强原子层沉积设备-A033499其他专用仪器仪表-预算金额650.000000万元(人民币)
| 等离子体增强原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 山东大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 山东大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 650.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 等离子体增强原子层沉积系统采购数量1台，用于在各种平面（含复杂形状）或三维基底（模板）上制备高精度、无针孔、高保形的纳米薄膜，可对膜厚进行近似原子层的精确控制的新型制备技术，除了具有传统热ALD的优点，还允许更广泛的选择用作ALD生长的前驱体源，沉积温度可明显降低，生长速度可以加快，同时提高薄膜的质量，可用来低温（室温－500℃）沉积各种高质量的纳米薄膜与纳米结构阵列，生长材料种类包括：金属氧化物（如Al2O3, ZnO, Ti O2, HfO2, Nb2O5, Zr O2等）、氮化物（如：TiN, TaN, AlN）、金属（如：Pt, Ru, Cu，Fe, Au）以及多元氧化物（如HfZrO等）材料等，衬底最大可达8英寸，薄膜厚度均匀性±2%。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 等离子体增强原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 山东大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 山东大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 650.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 等离子体增强原子层沉积系统采购数量1台，用于在各种平面（含复杂形状）或三维基底（模板）上制备高精度、无针孔、高保形的纳米薄膜，可对膜厚进行近似原子层的精确控制的新型制备技术，除了具有传统热ALD的优点，还允许更广泛的选择用作ALD生长的前驱体源，沉积温度可明显降低，生长速度可以加快，同时提高薄膜的质量，可用来低温（室温－500℃）沉积各种高质量的纳米薄膜与纳米结构阵列，生长材料种类包括：金属氧化物（如Al2O3, ZnO, Ti O2, HfO2, Nb2O5, Zr O2等）、氮化物（如：TiN, TaN, AlN）、金属（如：Pt, Ru, Cu，Fe, Au）以及多元氧化物（如HfZrO等）材料等，衬底最大可达8英寸，薄膜厚度均匀性±2%。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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