复旦大学2022年12月政府采购意向-分子束外延-A032199其他电工、电子专用生产设备-预算金额1500.000000万元(人民币)
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复旦大学2022年12月政府采购意向-分子束外延-A032199其他电工、电子专用生产设备-预算金额1500.000000万元(人民币)
| 分子束外延 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 分子束外延 |
| 预算金额： | 1500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 1）真空水平：生长室：系统烘烤恢复至室温情况下，未通液氮时，生长室真空度可达到 5×10-10 Torr；在液氮环境下，极限真空度可达到 5×10-10 Torr缓冲室：烘烤过后基础真空度可以达到 5×10-11 Torr进样室：五分钟放气至大气环境，在抽气20分钟以后，腔体真空度可以达到2×10-6 Torr2）衬底温度：在600时，4寸衬底上90%区域控温精度可以达到±2在700时(使用机械手热电偶测量的)，衬底控温精度可以达到±1超过八小时衬底加热器最高温度可以达到*）源炉温度：空腔体最少达到1300，在1000（用积液电池热电偶测量）控温精度可以达到±0.1超过八小时 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 分子束外延 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 分子束外延 |
| 预算金额： | 1500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 1）真空水平：生长室：系统烘烤恢复至室温情况下，未通液氮时，生长室真空度可达到 5×10-10 Torr；在液氮环境下，极限真空度可达到 5×10-10 Torr缓冲室：烘烤过后基础真空度可以达到 5×10-11 Torr进样室：五分钟放气至大气环境，在抽气20分钟以后，腔体真空度可以达到2×10-6 Torr2）衬底温度：在600时，4寸衬底上90%区域控温精度可以达到±2在700时(使用机械手热电偶测量的)，衬底控温精度可以达到±1超过八小时衬底加热器最高温度可以达到*）源炉温度：空腔体最少达到1300，在1000（用积液电池热电偶测量）控温精度可以达到±0.1超过八小时 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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