大连理工大学2022年11月政府采购意向-激光直写光刻机系统-A02100309激光仪器-预算金额175.000000万元(人民币)
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大连理工大学2022年11月政府采购意向-激光直写光刻机系统-A02100309激光仪器-预算金额175.000000万元(人民币)
| 激光直写光刻机系统 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 激光直写光刻机系统 |
| 预算金额： | 175.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*激光仪器 |
| 采购需求概况： | 激光直写光刻机系统，1套1.设备需具有光刻胶的无掩膜激光直写及套刻功能。2.设备的光源需为紫外光源，工作寿命超过*小时。具备实时自动对焦功能。配备倍数可变的物镜。曝光剂量连续可调。3.设备需兼容5mm--8英寸基片，基片厚度最大支持15mm。具有温控系统。4.最小线宽≤1um，套刻误差≤±1um。5.支持GDSII, DXF, BMP等文件格式。6. 配备有二维光学表面轮廓仪，方便检测曝光后的光刻胶轮廓以及其他沉积、刻蚀工艺后的轮廓形貌变化。7.灰度直写阶数: 255级，具备3D图案直写能力。8.最小刻写精度：同时具有0.4，0.6，1.0，2.0和5.0 μm五种独立工作的模式，且五种刻写精度可由软件自由切换。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 激光直写光刻机系统 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 激光直写光刻机系统 |
| 预算金额： | 175.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*激光仪器 |
| 采购需求概况： | 激光直写光刻机系统，1套1.设备需具有光刻胶的无掩膜激光直写及套刻功能。2.设备的光源需为紫外光源，工作寿命超过*小时。具备实时自动对焦功能。配备倍数可变的物镜。曝光剂量连续可调。3.设备需兼容5mm--8英寸基片，基片厚度最大支持15mm。具有温控系统。4.最小线宽≤1um，套刻误差≤±1um。5.支持GDSII, DXF, BMP等文件格式。6. 配备有二维光学表面轮廓仪，方便检测曝光后的光刻胶轮廓以及其他沉积、刻蚀工艺后的轮廓形貌变化。7.灰度直写阶数: 255级，具备3D图案直写能力。8.最小刻写精度：同时具有0.4，0.6，1.0，2.0和5.0 μm五种独立工作的模式，且五种刻写精度可由软件自由切换。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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