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二次电子发射系数测量系统主要用来测量金属和介质材料的二次电子发射系数，具体如下：（1） 对金属材料的总二次电子发射系数、背散射二次电子发射系数和真正的二次电子发射系数进行测试，并得到发射系数随不同入射电子能量的关系曲线（2） 对介质材料的总二次电子发射系数、背散射二次电子发射系数和真正的二次电子发射系数进行测试，并得到发射系数随不同入射电子能量的关系曲线（3） 对金属和介质材料的二次电子发射能谱进行测试，并得到二次电子能谱曲线（4） 研究入射电子与样品呈不同入射角度时材料二次电子发射系数的变化情况，得到不同入射角度时二次电子发射系数曲线该系统的工作原理是超高真空条件下，在样品上方放置一个半球形的收集器，这个收集器包括内部的3层栅网和最外层的收集极。当样品收到一次入射电子激发时，如果样品接地，不加任何偏压，那么样品受激产生的二次电子会逃逸离开样品表面，被收集器收集。通过在不同栅极上施加不同的偏压，可以选择通过栅极而最终被收集极所收集到的不同能量的电子，从而可以得出总的二次电子发射系数，背散射二次电子发射系数和真正的二次电子发射系数。

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