A*激光仪器

飞秒激光加工系统采购数量：1台主要技术指标：1. 高功率飞秒激光器运行模式：脉冲平均功率：50 *@*00 kHz，20 *@*00 kHz中心波长：1030 nm线宽：＜3 nm重复频率：50-2000 kHz可调脉冲宽度： 600-30000 fs最大单脉冲能量： 200 μJ功率调节范围： 0-100%响应时间：＜100 μs光束质量：≤1.3 M2功率稳定性：≤2% （24h）光斑大小：2.5±0.3 mm光斑椭圆率：＞90%光束偏移量：＜1.0 mm光束发散角：＜0.5 mrad2．位移台加工幅面：300 cm*150 cm；X轴行程：305 cm；Y轴行程：153 cm；Z轴行程：25 cm；X，Y轴定位精度：±0.05 mm/m；X，Y轴重复定位精度：±0.03 mm/m；X/Y轴最大联合定位速度：120 m/min;Z轴最大联合定位速度：50 m/min。主要功能：飞秒激光加工系统可提供激光脉冲功率与重复频率可控的高功率飞秒激光光源，激光光束质量优、功率稳定，可用于固态自旋色心的可控制备，基于硅、碳化硅等半导体材料的光子集成芯片，光学微腔-光波导耦合器集成光芯片、固态自旋色心量子信息处理器件的制备，可以为半导体材料的加工和半导体量子器件的开发提供高性能的加工平台。

A*激光仪器

飞秒激光加工系统采购数量：1台主要技术指标：1. 高功率飞秒激光器运行模式：脉冲平均功率：50 *@*00 kHz，20 *@*00 kHz中心波长：1030 nm线宽：＜3 nm重复频率：50-2000 kHz可调脉冲宽度： 600-30000 fs最大单脉冲能量： 200 μJ功率调节范围： 0-100%响应时间：＜100 μs光束质量：≤1.3 M2功率稳定性：≤2% （24h）光斑大小：2.5±0.3 mm光斑椭圆率：＞90%光束偏移量：＜1.0 mm光束发散角：＜0.5 mrad2．位移台加工幅面：300 cm*150 cm；X轴行程：305 cm；Y轴行程：153 cm；Z轴行程：25 cm；X，Y轴定位精度：±0.05 mm/m；X，Y轴重复定位精度：±0.03 mm/m；X/Y轴最大联合定位速度：120 m/min;Z轴最大联合定位速度：50 m/min。主要功能：飞秒激光加工系统可提供激光脉冲功率与重复频率可控的高功率飞秒激光光源，激光光束质量优、功率稳定，可用于固态自旋色心的可控制备，基于硅、碳化硅等半导体材料的光子集成芯片，光学微腔-光波导耦合器集成光芯片、固态自旋色心量子信息处理器件的制备，可以为半导体材料的加工和半导体量子器件的开发提供高性能的加工平台。