复旦大学2022年12月政府采购意向-并行电子束电刻系统机台-A02100305电子光学及离子光学仪器-预算金额1000.000000万元(人民币)
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复旦大学2022年12月政府采购意向-并行电子束电刻系统机台-A02100305电子光学及离子光学仪器-预算金额1000.000000万元(人民币)
| 并行电子束电刻系统机台 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 并行电子束电刻系统机台 |
| 预算金额： | 1000.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况： | 并行电子束电刻系统机台是高通量集成电路检测装备的必备组成部分，可解决现有的电子束电刻系统耗时长、效率低，难以满足晶圆级（4英寸）、快速制作纳米器件的要求等关键瓶颈问题。另一方面，该设备投入使用后，作为高共享公共设备，将服务于电子科学与技术、光学工程、材料科学与工程、物理学等学科的微纳电子、光子和光电子结构与器件的前沿研究和重大科学任务的完成，完善我校新一代纳米材料、器件、器件物理相关教学科研的核心装备链条。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 并行电子束电刻系统机台 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 并行电子束电刻系统机台 |
| 预算金额： | 1000.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况： | 并行电子束电刻系统机台是高通量集成电路检测装备的必备组成部分，可解决现有的电子束电刻系统耗时长、效率低，难以满足晶圆级（4英寸）、快速制作纳米器件的要求等关键瓶颈问题。另一方面，该设备投入使用后，作为高共享公共设备，将服务于电子科学与技术、光学工程、材料科学与工程、物理学等学科的微纳电子、光子和光电子结构与器件的前沿研究和重大科学任务的完成，完善我校新一代纳米材料、器件、器件物理相关教学科研的核心装备链条。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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