A*显微镜

扫描电镜联用系统，1套 1.高分辨场发射扫描电镜技术参数1.1 成像系统技术要求1.1.1 电子发射源：肖特基(Schottky)型热场发射电子源。1.1.2 采用三物镜设计，可提供超高分辨模式，无漏磁分析模式和电子束无交叉模式；★1.1.3 分辨率:1.1.3.1 二次电子像分辨率（SE）：≤0.6nm （15kV），≤0.9 nm （1kV）；1.1.3.2 背散射电子像分辨率（BSE）：≤1.6nm （15kV），1.1.4 加速电压：调整范围：0.05-30 kV,调整步长≤100V。★1.1.5 束流强度：2pA to 400 nA。★1.1.6 放大倍数范围: 5-2,000,000倍，粗、细调模式连续可调。1.1.7 扫描速度20ns–10ms/pixel多档可选，可实现全帧、选区、定点、线扫描。1.2 样品室★1.2.1 样品腔内部≥340mm，深度≥315mm。1.2.2 最大样品尺寸：≥ 160mm（直径），保证无死角观察全样品。1.2.3 样品置换时间（抽真空时间）：≤ 3.5分钟。1.2.4 附件接口：≥20个附件接口。1.2.5 样品台最大承重：≥7kg1.2.6 等离子清洗器1.3.7 减震类型：内置主动式电磁减震。1.3 样品台1.3.1 类型：5轴全自动马达驱动，优中心控制。★1.3.2 移动范围:X方向≥130 mm,Y方向≥130mm,Z方向≥90mm,倾斜角度≥﹣60°到70o, 可360o 连续旋转。1.4 探测器：1.4.1 样品室内二次电子探测器；1.4.2 样品室内电动可伸缩式LE-BSE探测器；1.4.3 镜筒内配置能量过滤器的背散射探测器；1.4.4 镜筒内二次电子探测器；1.4.5 镜筒内中角背散射电子探测器1.4.6 样品室内红外CCD相机；1.4.7 皮安计，包含防碰撞报警功能1.5 系统控制与软件1.5.1 windows10 64位专业版操作系统的图形用户界面，操控功能可有键盘，鼠标，操控面板等完成。1.5.2 图像显示： 32”LCD显示器, 分辨率不低于2560×1440。1.5.3 软件应具备数据显示（加速电压、放大倍数、微标尺、工作距离、日期、时间、真空度、探测器）。1.5.2 软件应具备标注功能（图形类(圈、矩形、箭头、测量线)、文字等）。1.5.3 软件应具有测量功能，能测量试件的长宽高、直径、周长、面积等。1.5.4 软件应提供远程控制/诊断功能，保证操作者的使用直观便捷化。1.5.5 应具备图像及坐标导航及光镜-电镜连用功能，可兼容不同光镜厂商的光镜产品1.5.6 软件具备样品室内部3D模型示意功能，防止碰撞，直观的显示试样和各部件的几何关系。1.6 能谱及EBSD1.6.1 能谱探测器：采用Si3N4新型SDD探测器窗口，采用低噪音的CMOS前置放大器内置的高速 SDD芯片，晶体有效活区面积≥70mm2。

A*显微镜

扫描电镜联用系统，1套 1.高分辨场发射扫描电镜技术参数1.1 成像系统技术要求1.1.1 电子发射源：肖特基(Schottky)型热场发射电子源。1.1.2 采用三物镜设计，可提供超高分辨模式，无漏磁分析模式和电子束无交叉模式；★1.1.3 分辨率:1.1.3.1 二次电子像分辨率（SE）：≤0.6nm （15kV），≤0.9 nm （1kV）；1.1.3.2 背散射电子像分辨率（BSE）：≤1.6nm （15kV），1.1.4 加速电压：调整范围：0.05-30 kV,调整步长≤100V。★1.1.5 束流强度：2pA to 400 nA。★1.1.6 放大倍数范围: 5-2,000,000倍，粗、细调模式连续可调。1.1.7 扫描速度20ns–10ms/pixel多档可选，可实现全帧、选区、定点、线扫描。1.2 样品室★1.2.1 样品腔内部≥340mm，深度≥315mm。1.2.2 最大样品尺寸：≥ 160mm（直径），保证无死角观察全样品。1.2.3 样品置换时间（抽真空时间）：≤ 3.5分钟。1.2.4 附件接口：≥20个附件接口。1.2.5 样品台最大承重：≥7kg1.2.6 等离子清洗器1.3.7 减震类型：内置主动式电磁减震。1.3 样品台1.3.1 类型：5轴全自动马达驱动，优中心控制。★1.3.2 移动范围:X方向≥130 mm,Y方向≥130mm,Z方向≥90mm,倾斜角度≥﹣60°到70o, 可360o 连续旋转。1.4 探测器：1.4.1 样品室内二次电子探测器；1.4.2 样品室内电动可伸缩式LE-BSE探测器；1.4.3 镜筒内配置能量过滤器的背散射探测器；1.4.4 镜筒内二次电子探测器；1.4.5 镜筒内中角背散射电子探测器1.4.6 样品室内红外CCD相机；1.4.7 皮安计，包含防碰撞报警功能1.5 系统控制与软件1.5.1 windows10 64位专业版操作系统的图形用户界面，操控功能可有键盘，鼠标，操控面板等完成。1.5.2 图像显示： 32”LCD显示器, 分辨率不低于2560×1440。1.5.3 软件应具备数据显示（加速电压、放大倍数、微标尺、工作距离、日期、时间、真空度、探测器）。1.5.2 软件应具备标注功能（图形类(圈、矩形、箭头、测量线)、文字等）。1.5.3 软件应具有测量功能，能测量试件的长宽高、直径、周长、面积等。1.5.4 软件应提供远程控制/诊断功能，保证操作者的使用直观便捷化。1.5.5 应具备图像及坐标导航及光镜-电镜连用功能，可兼容不同光镜厂商的光镜产品1.5.6 软件具备样品室内部3D模型示意功能，防止碰撞，直观的显示试样和各部件的几何关系。1.6 能谱及EBSD1.6.1 能谱探测器：采用Si3N4新型SDD探测器窗口，采用低噪音的CMOS前置放大器内置的高速 SDD芯片，晶体有效活区面积≥70mm2。