A*其他试验仪器及装置

透射样品制备系统，1套数一、技术规格1. 工作条件1.1 电力供应：220V（±10%），50Hz，1φ1.2 工作温度：15℃-25℃1.3 工作湿度：< 60%2. 技术要求二、技术要求*2.1 配置需求：该系统主要由微束定点精修系统、精密全自动离子减薄仪、纳米等离子清洗仪，精密凹坑仪、圆片打孔器及电解双喷仪等系统等组成，实现常规块材透射电镜样品从宏观尺度到电子束穿透厚度薄区制备及FIB样品精修；以及满足金属类延展材料所需的圆片打孔器及全自动电解双喷仪来实现块材到电子束穿透厚度薄区制备设备；同时还包含纳米等离子清洗仪，去除样品、样品杆上的污染，防止碳沉积提升样品拍摄图像分辨率及样品微区成分分析结果准确性。2.2 微束定点精修系统2.2.1 功能：定点制备无非晶层透射电镜样品；*2.2.2 配备二次电子探头，可实现加工的同时进行高分辨观察，具备纳米级分辨率；2.2.3 加工离子能量范围需包括：50eV ~ 2keV；*2.2.4 离子束束斑尺寸：≤1μm，可精确定位制备样品；2.2.5 样品台倾转角度：-10度 ~ +30度，连续可调；2.2.6 最大离子束流：≥1mA/cm2;*2.2.7 配备液氮冷台，温度控制范围-170℃~室温连续可调；2.2.8 系统降温时间：≤20分钟；2.2.9 样品冷却时间：≤5分钟，保证制样效率；2.2.10 持续制冷时间：≥6小时；2.2.11 真空系统：无油机械泵+分子泵两级泵系统；2.2.12 系统基本真空：≤3.3x10-6mbar；2.2.13 采用可编程软件控制，实时显示制样状态；*2.2.14 配备Load lock快速换样仓设计，换样时间≤10秒;2.3 全自动精密离子减薄仪及配套前处理设备*2.3.1离子源：两束独立全自动马达控制的全电磁线圈聚焦氩离子源，离子枪无任何耗材；2.3.2 加速电压范围：每支离子枪能量均包含100 eV 到 10 keV，满足高电压快速减薄，低电压精细修复；*2.3.3 束斑尺寸：覆盖不小于300μm到5mm范围，在每个电压下均可连续调节，实现低电压快速精修；2.3.4 离子束束流密度：≥ 10 mA/cm2。可选择单个或者两个离子源工作，每个离子源都有独立法拉第杯直接检测电子束流值；2.3.5 离子枪调节范围：不小于-15° ~ +10°；2.3.6 真空系统：两级真空系统：无油干泵和不低于80L/s涡轮分子泵；2.3.7 用户界面：触摸屏内嵌式用户界面，具备配方式自动加工功能以及多权限多账户管理功能，最大程度保护设备安全；2.3.8 配备具备黑匣子事件记录器，可记录仪器所有操作记录，同时带有自检功能。

A*其他试验仪器及装置

透射样品制备系统，1套数一、技术规格1. 工作条件1.1 电力供应：220V（±10%），50Hz，1φ1.2 工作温度：15℃-25℃1.3 工作湿度：< 60%2. 技术要求二、技术要求*2.1 配置需求：该系统主要由微束定点精修系统、精密全自动离子减薄仪、纳米等离子清洗仪，精密凹坑仪、圆片打孔器及电解双喷仪等系统等组成，实现常规块材透射电镜样品从宏观尺度到电子束穿透厚度薄区制备及FIB样品精修；以及满足金属类延展材料所需的圆片打孔器及全自动电解双喷仪来实现块材到电子束穿透厚度薄区制备设备；同时还包含纳米等离子清洗仪，去除样品、样品杆上的污染，防止碳沉积提升样品拍摄图像分辨率及样品微区成分分析结果准确性。2.2 微束定点精修系统2.2.1 功能：定点制备无非晶层透射电镜样品；*2.2.2 配备二次电子探头，可实现加工的同时进行高分辨观察，具备纳米级分辨率；2.2.3 加工离子能量范围需包括：50eV ~ 2keV；*2.2.4 离子束束斑尺寸：≤1μm，可精确定位制备样品；2.2.5 样品台倾转角度：-10度 ~ +30度，连续可调；2.2.6 最大离子束流：≥1mA/cm2;*2.2.7 配备液氮冷台，温度控制范围-170℃~室温连续可调；2.2.8 系统降温时间：≤20分钟；2.2.9 样品冷却时间：≤5分钟，保证制样效率；2.2.10 持续制冷时间：≥6小时；2.2.11 真空系统：无油机械泵+分子泵两级泵系统；2.2.12 系统基本真空：≤3.3x10-6mbar；2.2.13 采用可编程软件控制，实时显示制样状态；*2.2.14 配备Load lock快速换样仓设计，换样时间≤10秒;2.3 全自动精密离子减薄仪及配套前处理设备*2.3.1离子源：两束独立全自动马达控制的全电磁线圈聚焦氩离子源，离子枪无任何耗材；2.3.2 加速电压范围：每支离子枪能量均包含100 eV 到 10 keV，满足高电压快速减薄，低电压精细修复；*2.3.3 束斑尺寸：覆盖不小于300μm到5mm范围，在每个电压下均可连续调节，实现低电压快速精修；2.3.4 离子束束流密度：≥ 10 mA/cm2。可选择单个或者两个离子源工作，每个离子源都有独立法拉第杯直接检测电子束流值；2.3.5 离子枪调节范围：不小于-15° ~ +10°；2.3.6 真空系统：两级真空系统：无油干泵和不低于80L/s涡轮分子泵；2.3.7 用户界面：触摸屏内嵌式用户界面，具备配方式自动加工功能以及多权限多账户管理功能，最大程度保护设备安全；2.3.8 配备具备黑匣子事件记录器，可记录仪器所有操作记录，同时带有自检功能。