复旦大学2022年12月政府采购意向-快速热退火设备-A02050906热处理设备-预算金额500.000000万元(人民币)
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复旦大学2022年12月政府采购意向-快速热退火设备-A02050906热处理设备-预算金额500.000000万元(人民币)
| 快速热退火设备 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 快速热退火设备 |
| 预算金额： | 500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*热处理设备 |
| 采购需求概况： | 适用于2英寸-8英寸晶圆样品退火；退火温度范围300℃-1000℃；升温速率≤100℃/sec（裸片）；温度均匀性≤±1%；真空腔体；冷却方式包括水冷或氮气吹扫。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 快速热退火设备 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 快速热退火设备 |
| 预算金额： | 500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*热处理设备 |
| 采购需求概况： | 适用于2英寸-8英寸晶圆样品退火；退火温度范围300℃-1000℃；升温速率≤100℃/sec（裸片）；温度均匀性≤±1%；真空腔体；冷却方式包括水冷或氮气吹扫。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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