先进光电探测与传感集成技术平台招标预告
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先进光电探测与传感集成技术平台招标预告
| 先进光电探测与传感集成技术平台 | |
| 项目所在采购意向： | 电子科技大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 先进光电探测与传感集成技术平台 |
| 预算金额： | 1000.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 该系统包括双通道ALD管式炉联用系统 、超净空气系统处理装置 、超净特气输运与处理系统 、超净纯水工艺系统装置等4部分。双通道ALD管式炉联用系统：原子层沉积（atomic layer deposition, ALD）是通过气相前驱体及反应物脉冲交替的通入反应腔并在基底上发生表面化学反应形成薄膜的一种方法，通过自限制性的前驱体交替饱和反应获得厚度、组分、形貌及结构在纳米尺度上高度可控的薄膜。该方法对基材不设限，尤其适用于具有高深宽比或复杂三维结构的基材。超净空气系统处理装置为开展半导体微纳加工、光电器件制备、微纳结构制备等半导体制程提供先决保障条件，用于大面积空气超净处理，热湿处理、气流控制及精密仪器的工艺冷却处理。本次采购的全空气处理系统装置主要应用于课题组光电芯片微纳加工、半导体工艺、微纳器件等研究提供动力保障环境。课题组主要研究微纳结构的宽波段红外焦平面探测器与智能传感器，为实现该微纳器件结构制备，必须使用高精度的微细加工设备，所以高精度半导体工艺是必备的技术手段和实现方案，但建设该工艺必须良好的环境外围保障。拟购置的超净空气系统处理装置主要用于所有工艺的环境过程，保障整个半导体工艺的硅片洁净度，提升工艺良率。特气工艺采用40L钢瓶配置；阀门材质为SS316 EP；具有排空、吹扫功能，半自动切换功能；可实现PLC控制、低压报警、泄漏报警、紧急切断、双级过滤（0.003μm）；顶部触摸屏实时显示钢瓶压力、泄漏数值等数据；PLC自带通讯接口；所有阀门及减压阀均为专用，满足气体特性要求，接口均为VCR；烤漆箱体，箱体采用2.5mm厚优质冷轧钢板；微负压设计，具有正面钢丝网玻璃观察窗；带钢瓶固定架；柜体带排风口；带烟感、温感侦测，喷淋，与PLC安全联动报警；能兼容和接入6种惰性高纯气源，切换均为半自动切换；系统配置有机、无机、高温废气处理能力，配套提供管路与末端装置、电气及相关控制装置。超净纯水工艺系统装置为开展半导体微纳加工、光电器件制备、微纳结构制备等半导体制程提供先决保障条件，主要应用于课题组光电芯片微纳加工、半导体工艺、微纳器件等研究提供动力保障环境。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 先进光电探测与传感集成技术平台 | |
| 项目所在采购意向： | 电子科技大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 先进光电探测与传感集成技术平台 |
| 预算金额： | 1000.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 该系统包括双通道ALD管式炉联用系统 、超净空气系统处理装置 、超净特气输运与处理系统 、超净纯水工艺系统装置等4部分。双通道ALD管式炉联用系统：原子层沉积（atomic layer deposition, ALD）是通过气相前驱体及反应物脉冲交替的通入反应腔并在基底上发生表面化学反应形成薄膜的一种方法，通过自限制性的前驱体交替饱和反应获得厚度、组分、形貌及结构在纳米尺度上高度可控的薄膜。该方法对基材不设限，尤其适用于具有高深宽比或复杂三维结构的基材。超净空气系统处理装置为开展半导体微纳加工、光电器件制备、微纳结构制备等半导体制程提供先决保障条件，用于大面积空气超净处理，热湿处理、气流控制及精密仪器的工艺冷却处理。本次采购的全空气处理系统装置主要应用于课题组光电芯片微纳加工、半导体工艺、微纳器件等研究提供动力保障环境。课题组主要研究微纳结构的宽波段红外焦平面探测器与智能传感器，为实现该微纳器件结构制备，必须使用高精度的微细加工设备，所以高精度半导体工艺是必备的技术手段和实现方案，但建设该工艺必须良好的环境外围保障。拟购置的超净空气系统处理装置主要用于所有工艺的环境过程，保障整个半导体工艺的硅片洁净度，提升工艺良率。特气工艺采用40L钢瓶配置；阀门材质为SS316 EP；具有排空、吹扫功能，半自动切换功能；可实现PLC控制、低压报警、泄漏报警、紧急切断、双级过滤（0.003μm）；顶部触摸屏实时显示钢瓶压力、泄漏数值等数据；PLC自带通讯接口；所有阀门及减压阀均为专用，满足气体特性要求，接口均为VCR；烤漆箱体，箱体采用2.5mm厚优质冷轧钢板；微负压设计，具有正面钢丝网玻璃观察窗；带钢瓶固定架；柜体带排风口；带烟感、温感侦测，喷淋，与PLC安全联动报警；能兼容和接入6种惰性高纯气源，切换均为半自动切换；系统配置有机、无机、高温废气处理能力，配套提供管路与末端装置、电气及相关控制装置。超净纯水工艺系统装置为开展半导体微纳加工、光电器件制备、微纳结构制备等半导体制程提供先决保障条件，主要应用于课题组光电芯片微纳加工、半导体工艺、微纳器件等研究提供动力保障环境。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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