复旦大学2022年12月政府采购意向-倾斜光栅刻蚀系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额1000.000000万元(人民币)
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复旦大学2022年12月政府采购意向-倾斜光栅刻蚀系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额1000.000000万元(人民币)
| 倾斜光栅刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 倾斜光栅刻蚀系统 |
| 预算金额： | 1000.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 倾斜微纳结构可实现在特定的衍射级上超高的光学耦合效率，经常被用于增强现实、虚拟现实、混合现实等先进光学应用中，是目前光学学科的前沿， (略) 竞相研究和发展的热点技术。传统的ICP-RIE和RIE只能刻蚀出垂直的光栅结构，很难刻蚀出具有一定角度的光栅结构。不太适应于倾斜光栅的加工。本次采购的倾斜光栅刻蚀系统可以实现大于130度的角度调节，最大装样大于等于8英寸，刻蚀均匀性小于5%，SiO2对Cr的选择比大于等于5，拟购的倾斜光栅专业刻蚀设备将会极大的促进微纳光学等相关学科的学科发展和前沿研究水平，并推动相关领域高水平科研成果的应用转化。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 倾斜光栅刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 倾斜光栅刻蚀系统 |
| 预算金额： | 1000.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 倾斜微纳结构可实现在特定的衍射级上超高的光学耦合效率，经常被用于增强现实、虚拟现实、混合现实等先进光学应用中，是目前光学学科的前沿， (略) 竞相研究和发展的热点技术。传统的ICP-RIE和RIE只能刻蚀出垂直的光栅结构，很难刻蚀出具有一定角度的光栅结构。不太适应于倾斜光栅的加工。本次采购的倾斜光栅刻蚀系统可以实现大于130度的角度调节，最大装样大于等于8英寸，刻蚀均匀性小于5%，SiO2对Cr的选择比大于等于5，拟购的倾斜光栅专业刻蚀设备将会极大的促进微纳光学等相关学科的学科发展和前沿研究水平，并推动相关领域高水平科研成果的应用转化。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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