复旦大学2022年12月政府采购意向-磁控溅射镀膜系统-A02052402真空应用设备-预算金额250.000000万元(人民币)
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复旦大学2022年12月政府采购意向-磁控溅射镀膜系统-A02052402真空应用设备-预算金额250.000000万元(人民币)
| 磁控溅射镀膜系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射镀膜系统 |
| 预算金额： | 250.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 磁控溅射镀膜系统是微纳加工应用中的关键薄膜沉积工艺设备，磁控溅射主要应用在微电子、光学膜和材料表面处理领域中。该仪器系统可以用于微纳结构中薄膜沉积，主要用于光学膜、电学膜以及半导体领域的高质量薄膜的沉积，对器件制备起着重要的作用，有很好的共享性，因此可以促进不同研究领域的互相交叉和合作。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 磁控溅射镀膜系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射镀膜系统 |
| 预算金额： | 250.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 磁控溅射镀膜系统是微纳加工应用中的关键薄膜沉积工艺设备，磁控溅射主要应用在微电子、光学膜和材料表面处理领域中。该仪器系统可以用于微纳结构中薄膜沉积，主要用于光学膜、电学膜以及半导体领域的高质量薄膜的沉积，对器件制备起着重要的作用，有很好的共享性，因此可以促进不同研究领域的互相交叉和合作。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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