上海交通大学2022年12月政府采购意向-碳化硅反应离子刻蚀系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额300.000000万元(人民币)
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上海交通大学2022年12月政府采购意向-碳化硅反应离子刻蚀系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额300.000000万元(人民币)
| 碳化硅反应离子刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 碳化硅反应离子刻蚀系统 |
| 预算金额： | 300.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 采用大功率射频源实现碳化硅基片及外延层的电感耦合反应离子干法刻蚀，配置电感耦合射频源和半自动装片系统。最大可支持8英寸基片，并向下兼容。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 碳化硅反应离子刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 碳化硅反应离子刻蚀系统 |
| 预算金额： | 300.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 采用大功率射频源实现碳化硅基片及外延层的电感耦合反应离子干法刻蚀，配置电感耦合射频源和半自动装片系统。最大可支持8英寸基片，并向下兼容。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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