上海交通大学2022年12月政府采购意向-高深宽比介质干法刻蚀系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额500.000000万元(人民币)
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上海交通大学2022年12月政府采购意向-高深宽比介质干法刻蚀系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额500.000000万元(人民币)
| 高深宽比介质干法刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 高深宽比介质干法刻蚀系统 |
| 预算金额： | 500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 采用低温高密度等离子对氧化硅、氮化硅等介质及铌酸锂等新型材料的实现高深宽比的各向异性垂直刻蚀。配置半自动传片系统。国内需要配置专业的技术支持团队及备品备件仓库。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高深宽比介质干法刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 高深宽比介质干法刻蚀系统 |
| 预算金额： | 500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 采用低温高密度等离子对氧化硅、氮化硅等介质及铌酸锂等新型材料的实现高深宽比的各向异性垂直刻蚀。配置半自动传片系统。国内需要配置专业的技术支持团队及备品备件仓库。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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