上海交通大学2022年12月政府采购意向-分子气相沉积系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额310.000000万元(人民币)
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上海交通大学2022年12月政府采购意向-分子气相沉积系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额310.000000万元(人民币)
| 分子气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 分子气相沉积系统 |
| 预算金额： | 310.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 用于MEMS传感器、驱动器、显示、微流控、RF开关等领域的抗粘、疏水或亲水、润滑、疏油或亲油、抗蚀、生物相容或生物反应层及其他功能的表面改性分子级薄膜沉积。最大支持8”晶圆。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 分子气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 分子气相沉积系统 |
| 预算金额： | 310.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 用于MEMS传感器、驱动器、显示、微流控、RF开关等领域的抗粘、疏水或亲水、润滑、疏油或亲油、抗蚀、生物相容或生物反应层及其他功能的表面改性分子级薄膜沉积。最大支持8”晶圆。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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