上海交通大学2022年12月政府采购意向-等离子辅助气相沉积系统（化合物半导体）-A032103电子工业专用生产设备-预算金额280.000000万元(人民币)
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上海交通大学2022年12月政府采购意向-等离子辅助气相沉积系统（化合物半导体）-A032103电子工业专用生产设备-预算金额280.000000万元(人民币)
| 等离子辅助气相沉积系统（化合物半导体） | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 等离子辅助气相沉积系统（化合物半导体） |
| 预算金额： | 280.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 专用用于GaAs、InP及GaN等化合物半导体基片的氧化硅、氮化硅及氮氧化硅等介质薄膜沉积，基片可加热400C，配置电感耦合射频源，配置半自动传片系统。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 等离子辅助气相沉积系统（化合物半导体） | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 等离子辅助气相沉积系统（化合物半导体） |
| 预算金额： | 280.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 专用用于GaAs、InP及GaN等化合物半导体基片的氧化硅、氮化硅及氮氧化硅等介质薄膜沉积，基片可加热400C，配置电感耦合射频源，配置半自动传片系统。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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