上海交通大学2022年12月政府采购意向-单片晶圆清洗机-A032103电子工业专用生产设备-预算金额130.000000万元(人民币)
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上海交通大学2022年12月政府采购意向-单片晶圆清洗机-A032103电子工业专用生产设备-预算金额130.000000万元(人民币)
| 单片晶圆清洗机 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 单片晶圆清洗机 |
| 预算金额： | 130.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 采用喷射流体基片旋转方式，实现晶圆表面或光刻掩模版的有机溶液清洗以及解键基片清洗；配合金属剥离刻蚀液，也可实现金属剥离工艺。配置有超声流体清洗功能。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 单片晶圆清洗机 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 单片晶圆清洗机 |
| 预算金额： | 130.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 采用喷射流体基片旋转方式，实现晶圆表面或光刻掩模版的有机溶液清洗以及解键基片清洗；配合金属剥离刻蚀液，也可实现金属剥离工艺。配置有超声流体清洗功能。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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