复旦大学2022年12月政府采购意向-聚焦离子束双束微纳加工表征系统-A02100305电子光学及离子光学仪器-预算金额600.000000万元(人民币)
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复旦大学2022年12月政府采购意向-聚焦离子束双束微纳加工表征系统-A02100305电子光学及离子光学仪器-预算金额600.000000万元(人民币)
| 聚焦离子束双束微纳加工表征系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束双束微纳加工表征系统 |
| 预算金额： | 600.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况： | 聚焦离子束双束微纳加工表征系统是低轨卫星平台中星间/星地通信核心器件研发中所需要的关键大型仪器设备，同时具备聚焦离子束和扫描电子显微镜的双束系统，实现对通信发射、调制、接收器件样品表面微纳尺度的观测、微结构刻蚀、沉积以及无掩膜直写加工。利用该设备进行截面切割表征分析，可以快速定点的进行分析缺陷原因，改善工艺流程，已经成为光电芯片研究中不可缺少的设备。该设备也是通信芯片修补与线路编辑，透射电镜制样所需要的主要仪器。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 聚焦离子束双束微纳加工表征系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束双束微纳加工表征系统 |
| 预算金额： | 600.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况： | 聚焦离子束双束微纳加工表征系统是低轨卫星平台中星间/星地通信核心器件研发中所需要的关键大型仪器设备，同时具备聚焦离子束和扫描电子显微镜的双束系统，实现对通信发射、调制、接收器件样品表面微纳尺度的观测、微结构刻蚀、沉积以及无掩膜直写加工。利用该设备进行截面切割表征分析，可以快速定点的进行分析缺陷原因，改善工艺流程，已经成为光电芯片研究中不可缺少的设备。该设备也是通信芯片修补与线路编辑，透射电镜制样所需要的主要仪器。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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