北京科技大学2022年11月政府采购意向-规模化集成电路无掩膜激光直写系统-A02100309-激光仪器-预算金额175.000000万元(人民币)
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北京科技大学2022年11月政府采购意向-规模化集成电路无掩膜激光直写系统-A02100309-激光仪器-预算金额175.000000万元(人民币)
| 规模化集成电路无掩膜激光直写系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京科技大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京科技大学 |
| 采购项目名称： | 规模化集成电路无掩膜激光直写系统 |
| 预算金额： | 175.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-激光仪器 |
| 采购需求概况： | （一）采购标的名称：规模化集成电路无掩模激光直写系统（二）采购标需实现的主要功能或者目标具备无掩模光刻直写，多层套刻直写，三维灰阶直写以及掩膜版制作功能。有效光刻面积不小于6英寸晶圆，最小线宽0.5微米以下，线宽均匀性100纳米以下，直写速度大于1mm2/min，对准精度低于400纳米，套刻精度低于500纳米；配备温控防尘罩，控制电脑及数据转换计算机及数据转换软件，具备自动聚焦功能，用于纳米、规模化半导体器件与电路加工制造。（三）采购标的数量：1套（四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求合同签订并收到预付款或者LC后10个月内交货，自验收合格之日起质保期不少于一年。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。须提供在售全新设备，不得为停产型号或翻新机。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 规模化集成电路无掩膜激光直写系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京科技大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京科技大学 |
| 采购项目名称： | 规模化集成电路无掩膜激光直写系统 |
| 预算金额： | 175.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-激光仪器 |
| 采购需求概况： | （一）采购标的名称：规模化集成电路无掩模激光直写系统（二）采购标需实现的主要功能或者目标具备无掩模光刻直写，多层套刻直写，三维灰阶直写以及掩膜版制作功能。有效光刻面积不小于6英寸晶圆，最小线宽0.5微米以下，线宽均匀性100纳米以下，直写速度大于1mm2/min，对准精度低于400纳米，套刻精度低于500纳米；配备温控防尘罩，控制电脑及数据转换计算机及数据转换软件，具备自动聚焦功能，用于纳米、规模化半导体器件与电路加工制造。（三）采购标的数量：1套（四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求合同签订并收到预付款或者LC后10个月内交货，自验收合格之日起质保期不少于一年。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。须提供在售全新设备，不得为停产型号或翻新机。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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