清华大学2022年12月政府采购意向-氧化物分子束外延薄膜制备系统-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额980.000000万元(人民币)
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清华大学2022年12月政府采购意向-氧化物分子束外延薄膜制备系统-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额980.000000万元(人民币)
| 氧化物分子束外延薄膜制备系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 氧化物分子束外延薄膜制备系统 |
| 预算金额： | 980.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购氧化物分子束外延薄膜制备系统一套，主要技术参数：真空系统：由前级泵和分子泵组成，生长腔体本底真空度 ≤ 5×10-9 Pa样品大小：4 英寸，兼容较小样品加热台：SiC材质耐氧加热台，最高加热温度900 ℃RHEED：配备RHEED系统（Staib），20 kV电压源，可控制电子束聚焦和定位蒸发源：Ba、Sr、Pb蒸发源和Ti高温蒸发源，预留8个蒸发源接口；6坩锅电子束蒸发源；氮微波等离子体源；臭氧源，臭氧浓度高于90 %，流量可达100 sccm送样系统：送样室，缓冲室，水平送样杆，磁耦合操作控制系统：计算机远程控制，图形界面，工艺流程可编程自动化 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 氧化物分子束外延薄膜制备系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 氧化物分子束外延薄膜制备系统 |
| 预算金额： | 980.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购氧化物分子束外延薄膜制备系统一套，主要技术参数：真空系统：由前级泵和分子泵组成，生长腔体本底真空度 ≤ 5×10-9 Pa样品大小：4 英寸，兼容较小样品加热台：SiC材质耐氧加热台，最高加热温度900 ℃RHEED：配备RHEED系统（Staib），20 kV电压源，可控制电子束聚焦和定位蒸发源：Ba、Sr、Pb蒸发源和Ti高温蒸发源，预留8个蒸发源接口；6坩锅电子束蒸发源；氮微波等离子体源；臭氧源，臭氧浓度高于90 %，流量可达100 sccm送样系统：送样室，缓冲室，水平送样杆，磁耦合操作控制系统：计算机远程控制，图形界面，工艺流程可编程自动化 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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