清华大学2022年12月政府采购意向-8”离子束注入机-A030808试验专用设备-预算金额2800.000000万元(人民币)
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清华大学2022年12月政府采购意向-8”离子束注入机-A030808试验专用设备-预算金额2800.000000万元(人民币)
| 8”离子束注入机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 8”离子束注入机 |
| 预算金额： | 2800.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*试验专用设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购8”离子束注入机一台，主要技术参数：晶圆尺寸：可兼容200mm及以下尺寸硅片、不规则片注入元素：含B、P、N、Ar、As离子注入能量（单价）范围：5keV-270keV晶圆倾斜角度：-15°-+60°(X)、 -15°-+15°(Y)晶圆旋转角度：0-360°注入角度精度：±0.1°剂量范围：2E11～1E16ions/cm2片内均匀性： ≤0.5% ，1σ @E≥10keV；≤1%， 1σ @E<10keV片间均匀性：≤0.5% ，1σ @E≥10keV；≤1%， 1σ @E<10keV |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 8”离子束注入机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 8”离子束注入机 |
| 预算金额： | 2800.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*试验专用设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购8”离子束注入机一台，主要技术参数：晶圆尺寸：可兼容200mm及以下尺寸硅片、不规则片注入元素：含B、P、N、Ar、As离子注入能量（单价）范围：5keV-270keV晶圆倾斜角度：-15°-+60°(X)、 -15°-+15°(Y)晶圆旋转角度：0-360°注入角度精度：±0.1°剂量范围：2E11～1E16ions/cm2片内均匀性： ≤0.5% ，1σ @E≥10keV；≤1%， 1σ @E<10keV片间均匀性：≤0.5% ，1σ @E≥10keV；≤1%， 1σ @E<10keV |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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