山东大学2023年（第二批）01月政府采购意向公开-激光直写光刻系统-采招网

山东大学2023年（第二批）01月政府采购意向公开-激光直写光刻系统

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山东大学2023年（第二批）01月政府采购意向公开-激光直写光刻系统

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将山东大学2023年（第二批）01月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	意向编号	采购品目	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
1	激光直写光刻系统	JN*	电子工业专用生产设备,其他电工电子专用生产设备	本次采购激光直写光刻系统设备1台，产品需要达到曝光最小线宽600 nm、套刻精度：500 nm、曝光速率280 mm2/min等技术指标，满足高曝光精度、高光刻速率要求。	500	2023年01月
2	半导体器件热阻测试仪	JN*	其他不另分类的物品	本次采购半导体器件热阻测试仪器设备1台，产品需要达到测试延迟时间为1μs；实时采样最短间隔1μs。结温分辨率0.01℃，测试精度±0.5℃等技术指标，用于测量半导体器件的结温、热阻等热学特性研究。	200	2023年01月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

山东大学招标采购管理中心

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序号	采购项目名称	意向编号	采购品目	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
1	激光直写光刻系统	JN*	电子工业专用生产设备,其他电工电子专用生产设备	本次采购激光直写光刻系统设备1台，产品需要达到曝光最小线宽600 nm、套刻精度：500 nm、曝光速率280 mm2/min等技术指标，满足高曝光精度、高光刻速率要求。	500	2023年01月
2	半导体器件热阻测试仪	JN*	其他不另分类的物品	本次采购半导体器件热阻测试仪器设备1台，产品需要达到测试延迟时间为1μs；实时采样最短间隔1μs。结温分辨率0.01℃，测试精度±0.5℃等技术指标，用于测量半导体器件的结温、热阻等热学特性研究。	200	2023年01月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

山东大学招标采购管理中心

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