清华大学2022年12月政府采购意向-感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额490.000000万元(人民币)
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清华大学2022年12月政府采购意向-感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额490.000000万元(人民币)
| 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 490.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统1套，技术参数需求：上电极采用平板三螺旋天线的感应耦合等离子体（ICP）源。采用背氦传热的动态温度控制系统，配有内置加热器和外置热交换器，温度控制范围不小于室温 ~ +300°C，温度控制精度±1°C |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 490.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统1套，技术参数需求：上电极采用平板三螺旋天线的感应耦合等离子体（ICP）源。采用背氦传热的动态温度控制系统，配有内置加热器和外置热交换器，温度控制范围不小于室温 ~ +300°C，温度控制精度±1°C |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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