清华大学2022年12月政府采购意向-紫外-可见-红外显微椭偏仪-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额150.000000万元(人民币)
清华大学2022年12月政府采购意向-紫外-可见-红外显微椭偏仪-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额150.000000万元(人民币)
紫外-可见-红外显微椭偏仪 | |
项目所在采购意向: | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
采购单位: | 清华大学 |
采购项目名称: | 紫外-可见-红外显微椭偏仪 |
预算金额: | 150.*万元(人民币) |
采购品目: | A*其他试验仪器及装置 |
采购需求概况: | 拟采购紫外-可见-红外显微椭偏仪1台,技术参数需求:光谱范围:210-2500nm。入射角:计算机控制45度到90度可变,角度重复性优于0.01度。样品对准:z轴最大行程18mm,配置自动俯仰调节。光斑:普通光斑4mm直径,聚焦微光斑直径小于等于150微米。光斑定位相机:视场2.1 X 1.6 mm,工作距离77mm补偿技术:消色差、双旋转补偿。探测器:无光纤设计双探测器同时测量自动平移台:200mm(8寸) X/Y自动平移 (向下兼容)数据采集时间:单点全光谱测量(测试光谱点大于等于1000点,标准或穆勒矩阵)最快0.3秒测试准确性:在直射状态下,测量空光束45加减0.03度,退偏振: 0% 加减 0.5% 15个归一化穆勒矩阵元 对角线: 1 加减 0.005非对角线: 0 加减 0.005(10秒平均时间测量,95%的被测波长满足该指标)测量重复性:膜厚测量优于0.005nm(SiO2(25nm)/Si) |
预计采购时间: | 2022-12 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
紫外-可见-红外显微椭偏仪 | |
项目所在采购意向: | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
采购单位: | 清华大学 |
采购项目名称: | 紫外-可见-红外显微椭偏仪 |
预算金额: | 150.*万元(人民币) |
采购品目: | A*其他试验仪器及装置 |
采购需求概况: | 拟采购紫外-可见-红外显微椭偏仪1台,技术参数需求:光谱范围:210-2500nm。入射角:计算机控制45度到90度可变,角度重复性优于0.01度。样品对准:z轴最大行程18mm,配置自动俯仰调节。光斑:普通光斑4mm直径,聚焦微光斑直径小于等于150微米。光斑定位相机:视场2.1 X 1.6 mm,工作距离77mm补偿技术:消色差、双旋转补偿。探测器:无光纤设计双探测器同时测量自动平移台:200mm(8寸) X/Y自动平移 (向下兼容)数据采集时间:单点全光谱测量(测试光谱点大于等于1000点,标准或穆勒矩阵)最快0.3秒测试准确性:在直射状态下,测量空光束45加减0.03度,退偏振: 0% 加减 0.5% 15个归一化穆勒矩阵元 对角线: 1 加减 0.005非对角线: 0 加减 0.005(10秒平均时间测量,95%的被测波长满足该指标)测量重复性:膜厚测量优于0.005nm(SiO2(25nm)/Si) |
预计采购时间: | 2022-12 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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