清华大学2022年12月政府采购意向-快速热退火系统-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额190.000000万元(人民币)
发送至邮箱
清华大学2022年12月政府采购意向-快速热退火系统-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额190.000000万元(人民币)
| 快速热退火系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 快速热退火系统 |
| 预算金额： | 190.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购快速热退火系统一台晶圆尺寸：8英寸、6英寸、4英寸兼容。工艺能力包含且不限于：离子注入后的热退火工艺；合金工艺。主要工艺指标：最高工艺温度：≥1200℃。最大升温速率：≥150℃/s。最大降温速率：≥200℃/min。晶圆表面温度不均匀性：≤ 1.5%（6寸TC wafer面内≥ 5点，8寸TC wafer面内≥ 9点）。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 快速热退火系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 快速热退火系统 |
| 预算金额： | 190.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购快速热退火系统一台晶圆尺寸：8英寸、6英寸、4英寸兼容。工艺能力包含且不限于：离子注入后的热退火工艺；合金工艺。主要工艺指标：最高工艺温度：≥1200℃。最大升温速率：≥150℃/s。最大降温速率：≥200℃/min。晶圆表面温度不均匀性：≤ 1.5%（6寸TC wafer面内≥ 5点，8寸TC wafer面内≥ 9点）。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
