清华大学2022年12月政府采购意向-电子束蒸发台-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额355.000000万元(人民币)
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清华大学2022年12月政府采购意向-电子束蒸发台-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额355.000000万元(人民币)
| 电子束蒸发台 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发台 |
| 预算金额： | 355.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购电子束蒸发台一台晶圆尺寸：8英寸、6英寸、4英寸兼容。工艺能力：电子束蒸发镀膜。主要工艺指标：薄膜不均匀性：≤士2%。静态极限真空：≤1E-8 Torr。搬送颗粒规格：≥ 0.13μm直径的颗粒≤ 100ea。载片系统至少具备放置8英寸、6英寸、4英寸三种晶圆尺寸规格的能力。可以通过夹具的调整，对平边和切口两种定位规格的晶圆均可以进行蒸镀。不同尺寸规格晶圆均可以满足成膜均匀性的要求。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电子束蒸发台 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发台 |
| 预算金额： | 355.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购电子束蒸发台一台晶圆尺寸：8英寸、6英寸、4英寸兼容。工艺能力：电子束蒸发镀膜。主要工艺指标：薄膜不均匀性：≤士2%。静态极限真空：≤1E-8 Torr。搬送颗粒规格：≥ 0.13μm直径的颗粒≤ 100ea。载片系统至少具备放置8英寸、6英寸、4英寸三种晶圆尺寸规格的能力。可以通过夹具的调整，对平边和切口两种定位规格的晶圆均可以进行蒸镀。不同尺寸规格晶圆均可以满足成膜均匀性的要求。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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