清华大学2022年12月政府采购意向-晶圆级金刚石研磨抛光机-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额166.650000万元(人民币)
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清华大学2022年12月政府采购意向-晶圆级金刚石研磨抛光机-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额166.650000万元(人民币)
| 晶圆级金刚石研磨抛光机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 晶圆级金刚石研磨抛光机 |
| 预算金额： | 166.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购1套。要求：1. 用途：主要用于半导体级CVD金刚石衬底的表面加工；2. 加工后表面粗糙度3~100nm；3. 英寸金刚石衬底加工后厚度偏差≤15 μm，整体翘曲度≤15 μm；4. 英寸金刚石衬底加工后厚度偏差≤25 μm，加工后整体翘曲度≤30 μm；5. 系统精度：主轴端跳≤5 μm，磨盘端跳≤10 μm… |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 晶圆级金刚石研磨抛光机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 晶圆级金刚石研磨抛光机 |
| 预算金额： | 166.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购1套。要求：1. 用途：主要用于半导体级CVD金刚石衬底的表面加工；2. 加工后表面粗糙度3~100nm；3. 英寸金刚石衬底加工后厚度偏差≤15 μm，整体翘曲度≤15 μm；4. 英寸金刚石衬底加工后厚度偏差≤25 μm，加工后整体翘曲度≤30 μm；5. 系统精度：主轴端跳≤5 μm，磨盘端跳≤10 μm… |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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